[实用新型]一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮

说明书

本实用新型涉及芯片生产技术领域，特别公开了一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮。它包括两个竖立的框架，两个框架的上端通过连接板连接，连接板上设有吊杆，两个框架的下端通过两根横向连接杆连接，两根横向连接杆相对的一侧设有卡槽。本实用新型设置了若干卡槽，相对的两个卡槽之间可以放一个晶圆片，这样就可以放置若干个晶圆片，提高了检测效率；另外，把横向连接杆设置成与框架下端之间滑动连接，可以调节两根横向连接杆之间的距离，以适应不同规格晶圆片的需要；本实用新型还设置了弧形槽和花键，使用时将花键与设备上的花键槽配合，这样可以对旋转过程中的框架起到稳定作用，有利于晶圆片的腐蚀试验。

技术领域

本实用新型涉及芯片生产技术领域，特别涉及一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮。

背景技术

碳化硅晶片也叫晶圆片，它是半导体集成和封装的基础材料，需求日益旺盛，但晶圆片KOH腐蚀实验，目前市场尚无成型的设备，一般为自行搭建的简易装置，只能进行简单实验，存在诸多缺陷，控温不稳定，温场不均匀，KOH腐蚀效果不好，易发生安全事故等；为此申请人发明了一种KOH腐蚀试验设备，它将晶圆片放到圆形的镍篮（就是吊篮）内，然后将镍篮放到装有腐蚀液体的坩埚内，通过加热、旋转等一系列辅助动作，进行腐蚀试验。在上述设备中还存在如下缺陷：1它的镍篮实际上就是一个盘子，每次只能放置一个晶圆片进行腐蚀实验，因此效率很低。2镍篮仅靠一个吊杆吊着，缺乏稳定措施，在旋转过程中容易发生扭曲，影响实验效果。

发明内容

本实用新型为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种同时对多块晶圆片进行腐蚀试验、从而提高生产效率的碳化硅晶片腐蚀用吊篮。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，包括两个竖立的框架，两个框架的上端通过连接板连接，所述连接板上设有吊杆，两个框架的下端之间通过两根横向连接杆连接，两根横向连接杆相对的一侧设有若干卡槽。

所述横向连接杆与框架下端之间滑动连接，并配套有紧固螺栓。

所述框架的上下端分别外接一个圆形框，每个圆形框滑动连接两个弧形槽，每一侧的上下两个弧形槽之间通过纵向连接杆固定连接；所述纵向连接杆上设有花键。

位于上方的两个所述弧形槽分别开有盲孔，两个盲孔之间通过活动杆连接，所述活动杆两端分别设有能插进盲孔的插柱。

所述圆形框上设有环形滑槽，所述弧形槽内壁设有滑块。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型设置了若干卡槽，相对的两个卡槽之间可以放一个晶圆片，这样就可以放置若干个晶圆片，也就是说一次可以对若干个晶圆片进行腐蚀试验，提高了检测效率；另外，把横向连接杆设置成与框架下端之间滑动连接，可以调节两根横向连接杆之间的距离，以适应不同规格晶圆片的需要；本实用新型还设置了弧形槽和花键，使用时将花键与设备上的花键槽配合，这样可以对旋转过程中的框架起到稳定作用，有利于晶圆片的腐蚀试验。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明：

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的右视结构示意图；

图3为本实用新型的俯视结构示意图；

图4为弧形槽的俯视结构示意图；

图5为图4中A-A向的截面结构示意图

图6为图2中B-B向的截面结构示意图；

图7为活动杆的主视结构示意图。