[实用新型]一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮

权利要求书

1.一种碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，包括两个竖立的框架（1），两个框架（1）的上端通过连接板（2）连接，所述连接板（2）上设有吊杆（3），两个框架（1）的下端之间通过两根横向连接杆（8）连接，两根横向连接杆（8）相对的一侧设有若干卡槽（11）。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，所述横向连接杆（8）与框架（1）下端之间滑动连接，并配套有紧固螺栓（10）。

3.根据权利要求1所述的碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，所述框架（1）的上下端分别外接一个圆形框（4），每个圆形框（4）滑动连接两个弧形槽（5），每一侧的上下两个弧形槽（5）之间通过纵向连接杆（7）固定连接；所述纵向连接杆（7）上设有花键（701）。

4.根据权利要求3所述的碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，位于上方的两个所述弧形槽（5）分别开有盲孔（502），两个盲孔（502）之间通过活动杆（6）连接，所述活动杆（6）两端分别设有能插进盲孔（502）的插柱（601）。

5.根据权利要求3所述的碳化硅晶片腐蚀用吊篮，其特征是，所述圆形框（4）上设有环形滑槽（401），所述弧形槽（5）内壁设有滑块（501）。