[发明专利]钙钛矿薄膜及其制备方法、钙钛矿太阳能电池、光电器件有效
申请号: | 202111593199.X | 申请日: | 2021-12-24 |
公开(公告)号: | CN113991027B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 徐觅;黄福志;程一兵 | 申请(专利权)人: | 佛山仙湖实验室 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/46;H01L51/42 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 肖荟萃 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区丹灶镇*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 钙钛矿 薄膜 及其 制备 方法 太阳能电池 光电 器件 | ||
1.一种钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)钙钛矿前驱液在基底上形成钙钛矿前驱液液膜,所述钙钛矿前驱液包含第一溶剂和钙钛矿前驱材料;
(2)将混合气体或气溶胶送入风刀,干燥,制得钙钛矿干膜,所述混合气体包括第二溶剂的蒸汽,所述气溶胶包括所述第二溶剂及所述第二溶剂的蒸汽,所述第二溶剂与所述第一溶剂具有互溶性;所述混合气体或所述气溶胶的混合方式包括气气混合或气液混合;
(3)将所述钙钛矿干膜进行退火处理,制得所述钙钛矿薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述第一溶剂包括γ-丁内酯、二甲基亚砜、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮中的至少一种;
所述第二溶剂包括乙醇、异丙醇、氯苯、甲苯、乙酸乙酯、石油醚、氯仿中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述钙钛矿前驱材料包括ABX3型、AX型、BX2型的钙钛矿型材料中的至少一种;其中,A选自CH3NH3+、CH3CH2NH3+、NH2CH=NH2+、Cs+中的至少一种,B选自Pb2+、Sn2+、Ge2+中的至少一种,X选自Cl-、Br-、I-中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述混合气体或所述气溶胶的温度为20-300℃,压强为0.1-2MPa。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述混合气体或所述气溶胶还包括氮气、氧气、二氧化碳气体、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气和氡气中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述干燥的过程为:所述风刀出气方向与所述基底的法线形成夹角并发生相对位移,所述夹角为-90°至90°。
7.一种钙钛矿薄膜,其特征在于,所述钙钛矿薄膜由权利要求1-6任一所述的制备方法制得。
8.一种钙钛矿太阳能电池,其特征在于,所述钙钛矿太阳能电池包括权利要求7所述的钙钛矿薄膜。
9.一种光电器件,其特征在于,所述光电器件包括权利要求7所述的钙钛矿薄膜。
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