[发明专利]一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置

权利要求书

1.一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：包括相连通的活化回收炉和沉积炉，所述活化回收炉内设有活化区及所述活化区周侧的尾气回收区；

所述活化区的一端连接有第一进气管，所述活化区的另一端通过活化管路与所述沉积炉的进气端相连接；

所述尾气回收区的一端分别与回收管路和第四进气管相连接，所述尾气回收区的另一端与尾气处理机构相连接，所述回收管路与所述沉积炉的排气端相连接；

所述沉积炉内设有气体混合装置及沉积平台，所述气体混合装置分别与所述活化管路、第二进气管和第三进气管相连接；

所述活化回收炉和所述沉积炉内均设有加热装置，在加热装置的作用下，所述活化回收炉内分别进行气体活化或尾气回收，所述沉积炉内进行沉积涂层。

2.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：碳源气体通过所述第一进气管进入所述活化区，所述活化区内填充有陶瓷填料。

3.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：所述尾气回收区填充有钨或碳化钨填料。

4.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：所述活化区和所述尾气回收区分别设有热电偶，所述活化区的活化温度高于所述沉积炉内的温度。

5.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：所述活化回收炉和所述沉积炉内均设有压力传感器。

6.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：含钨气体通过所述第二进气管进入所述气体混合装置，氢气通过所述第三进气管进入所述气体混合装置，氢气通过所述第四进气管进入所述尾气回收区。

7.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：所述气体混合装置为多层隔板混合器，每个所述隔板上均匀设置有布气孔，相邻两所述隔板之间的布气孔交错分布。

8.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：设于所述沉积炉的所述加热装置为感应加热线圈，所述感应加热线圈环绕设于所述沉积平台的四周且位于所述气体混合装置的下方；

所述感应加热线圈为中空铜管，所述感应加热线圈中空部设有循环冷却液。

9.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：所述沉积平台为可拆卸式沉积平台，所述沉积平台与旋转机构相连接；

当被沉积工件的基体材质为非金属时，所述沉积平台选择金属材质的沉积平台；

当被沉积工件的基体材质为可感应加热的金属时，所述沉积平台选择陶瓷材质的沉积平台。

10.根据权利要求1所述的碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，其特征在于：所述沉积炉内还设有冷却夹套，所述冷却夹套设于所述沉积炉内壁两侧，所述冷却夹套内设有循环冷却液。