[发明专利]一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置

说明书

本发明属于半导体加工技术领域，具体的说是一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，包括蒸发台本体、移动结构、安装底架、升降气缸、电动基座、竖梁架、清扫结构和除尘结构，所述蒸发台本体的外侧设置有移动结构，所述移动结构的一端安装有安装底架，所述安装底架的端面中央安装有升降气缸，所述升降气缸的顶部上方设置有电动基座，所述电动基座的顶部端面中央固定安装有竖梁架；通过移动结构在移动的过程中，使得升降气缸和电动基座能够调节竖梁架的高度和转动角度，使得清扫结构和除尘结构的位置发生调节，使得清扫结构和除尘结构能够将蒸发台本体顶部的不同位置进行清洁除尘，有效避免残留清洁死角的问题，具有良好的自清洁效果。

技术领域

本发明属于半导体加工技术领域，具体的说是一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。在半导体加工的过程中，需要对原片进行蒸发镀膜的工艺处理。

蒸发镀膜是将熔点较低的金属进行加热，使得蒸发台上的金属蒸发并附着于待加工的圆片之上以形成镀膜的工艺。

现有技术中也出现了一些关于发电的技术方案，如申请号为CN 105316627 A的一项中国专利公开了一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，本发明其可通过工作腔室内部夹套以及冷却水的设置，使得金属在蒸发过程中形成的气相金属接触工作腔室的侧端面与上端面之后，受其冷却形成液相金属滴落并可加以回收利用，从而一方面避免工作腔室内壁长时间沾附有气相金属而形成污垢，另一方面亦可改善原料的浪费，以上发明方案中，不具有对放置台进行清洁的功能。

针对上述发明中的问题，蒸发台在镀膜的过程中，镀膜产生的废料会堆积在蒸发台的表面，废料凝固后清理不便；而且，在清理的过程中，容易残存清理死角的情况。

为此，本发明提供一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置。

发明内容

为了弥补现有技术的不足，解决蒸发台在镀膜的过程中，镀膜产生的废料会堆积在蒸发台的表面，废料凝固后清理不便；以及在清理的过程中，容易残存清理死角的情况的问题，本发明提出的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，包括蒸发台本体、移动结构、安装底架、升降气缸、电动基座、竖梁架、清扫结构和除尘结构，所述蒸发台本体的外侧设置有移动结构，所述移动结构的一端安装有安装底架，所述安装底架的端面中央安装有升降气缸，所述升降气缸的顶部上方设置有电动基座，所述电动基座的顶部端面中央固定安装有竖梁架，所述竖梁架的端面一侧设置有清扫结构，所述竖梁架的端面上方设置有除尘结构，且除尘结构与安装底架固定连接；所述清扫结构包括电机支架、第一转动电机、传动端盖、清扫轴、清洁套和清洁毛刷，所述电机支架通过螺栓固定安装在竖梁架的外壁一侧，所述电机支架的内侧端面安装有第一转动电机，所述第一转动电机的一端电机轴通过联轴器固定安装有清扫轴，所述竖梁架的一侧端面通过螺钉固定安装有传动端盖，且清扫轴的一端穿过传动端盖连接安装有清洁套，且清洁套的外侧固定安装有清洁毛刷。

优选的，所述移动结构包括调节槽、电动导轨、调节滑座和随动架，所述蒸发台本体的外壁中央开设有调节槽，所述调节槽的内壁中央固定安装有电动导轨，所述电动导轨的外侧安装有调节滑座，所述调节滑座的外侧端面固定安装有随动架，且安装底架通过螺栓与随动架固定连接。

优选的，所述调节槽的顶部和底部端面均贴合安装有耐磨垫。

优选的，所述电机支架为L型结构，所述电机支架的内侧端面螺钉固定安装有散热板，且第一转动电机通过螺钉与散热板的端面固定连接。

优选的，所述竖梁架的端面中央开设有传动通孔，且传动通的内部固定安装有传动轴套，所述清扫轴的外壁与传动轴套的内壁贴合连接。