[发明专利]一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置

权利要求书

1.一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，包括蒸发台本体（1）、移动结构（2）、安装底架（3）、升降气缸（4）、电动基座（5）、竖梁架（6）、清扫结构（7）和除尘结构（8），其特征在于：所述蒸发台本体（1）的外侧设置有移动结构（2），所述移动结构（2）的一端安装有安装底架（3），所述安装底架（3）的端面中央安装有升降气缸（4），所述升降气缸（4）的顶部上方设置有电动基座（5），所述电动基座（5）的顶部端面中央固定安装有竖梁架（6），所述竖梁架（6）的端面一侧设置有清扫结构（7），所述竖梁架（6）的端面上方设置有除尘结构（8），且除尘结构（8）与安装底架（3）固定连接；所述清扫结构（7）包括电机支架（71）、第一转动电机（72）、传动端盖（74）、清扫轴（75）、清洁套（76）和清洁毛刷（77），所述电机支架（71）通过螺栓固定安装在竖梁架（6）的外壁一侧，所述电机支架（71）的内侧端面安装有第一转动电机（72），所述第一转动电机（72）的一端电机轴通过联轴器固定安装有清扫轴（75），所述竖梁架（6）的一侧端面通过螺钉固定安装有传动端盖（74），且清扫轴（75）的一端穿过传动端盖（74）连接安装有清洁套（76），且清洁套（76）的外侧固定安装有清洁毛刷（77）；

所述移动结构（2）包括调节槽（21）、电动导轨（22）、调节滑座（23）和随动架（24），所述蒸发台本体（1）的外壁中央开设有调节槽（21），所述调节槽（21）的内壁中央固定安装有电动导轨（22），所述电动导轨（22）的外侧安装有调节滑座（23），所述调节滑座（23）的外侧端面固定安装有随动架（24），且安装底架（3）通过螺栓与随动架（24）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，其特征在于：所述调节槽（21）的顶部和底部端面均贴合安装有耐磨垫。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，其特征在于：所述电机支架（71）为L型结构，所述电机支架（71）的内侧端面螺钉固定安装有散热板，且第一转动电机（72）通过螺钉与散热板的端面固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，其特征在于：所述竖梁架（6）的端面中央开设有传动通孔，且传动通的内部固定安装有传动轴套（73），所述清扫轴（75）的外壁与传动轴套（73）的内壁贴合连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，其特征在于：所述除尘结构（8）包括固定壁板（81）、输气泵（82）、伸缩管套（83）、喷吹管（84）、调节臂（85）、卡接管（86）、过滤喷嘴（87）、转动座（88）、第二转动电机（89）和第三转动电机（810），所述安装底架（3）的外壁一侧通过螺钉安装有固定壁板（81），所述固定壁板（81）的内侧端面中央通过螺钉固定安装有输气泵（82），所述输气泵（82）的顶部一端连接安装有伸缩管套（83），且伸缩管套（83）的顶部一端穿过固定壁板（81）的顶部端面连接安装有喷吹管（84），所述喷吹管（84）的一端经传动端盖（74）连接安装有调节臂（85），且调节臂（85）安装在竖梁架（6）的顶部端面，所述调节臂（85）的顶部一端内侧设置有转动座（88），所述转动座（88）的底部端面插接安装有卡接管（86），所述调节臂（85）的内部开设有连通孔，且喷吹管（84）的一端穿过连通孔与卡接管（86）连接，所述卡接管（86）的底部端面连接安装有过滤喷嘴（87）。

6.根据权利要求5所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，其特征在于：所述调节臂（85）的顶部一端安装有第二转动电机（89），且第二转动电机（89）的一端电机轴穿过调节臂（85）与转动座（88）固定连接，所述竖梁架（6）的外侧顶部固定安装有第三转动电机（810），且第三转动电机（810）一端的电机轴穿过竖梁架（6）与调节臂（85）固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种半导体加工用蒸发台的自清洁装置，其特征在于：所述传动端盖（74）的一端通过焊接固定安装有两个限位挂钩，且限位挂钩的内壁与喷吹管（84）的外壁贴合连接。