[发明专利]显示面板及其制作方法、移动终端在审
申请号: | 202111346119.0 | 申请日: | 2021-11-15 |
公开(公告)号: | CN114122144A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 郑帅;宋志伟;刘兆松;徐源竣 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/32;H01L21/336 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李莎 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 移动 终端 | ||
本申请提供了一种显示面板及其制作方法、移动终端;该显示面板包括衬底、有源层和源漏极层,所述有源层包括沟道部和位于所述沟道部两侧的导体部,源漏极层包括源漏极,源漏极设置于所述导体部远离衬底一侧的表面上;本申请通过利用多段式掩膜版,利用一次光罩工艺同时完成有源层和源漏极层的图案化处理,减少了当前显示面板的光罩次数,简化了显示面板的制备工艺。
技术领域
本申请涉及显示领域,特别涉及一种显示面板及其制作方法、移动终端。
背景技术
IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide,铟镓锌氧化物)是目前市场上应用最为广泛的显示产品,由于其具有较低的漏电流和较佳的迁移率,其通常作为顶栅型薄膜晶体管的沟道材料。
在当前的显示面板中,顶栅型薄膜晶体管相比于其他类型的薄膜晶体管,所使用的光罩次数较多,工艺复杂,无法降低生产成本。
因此,目前亟需一种显示面板及其制作方法、移动终端以解决上述问题。
发明内容
本申请提供了一种显示面板及其制作方法、移动终端,以改善现有显示面板光罩次数较多的技术问题。
为解决上述方案,本申请提供的技术方案如下:
本申请提出了一种显示面板,其包括:
衬底;
有源层,设置于所述衬底上,所述有源层包括沟道部和位于所述沟道部两侧的导体部;以及
源漏极层,设置于所述有源层上,所述源漏极层包括源漏极,所述源漏极设置于所述导体部远离所述衬底一侧的表面上。
在本申请的显示面板中,所述显示面板还包括:
栅绝缘层,设置于所述有源层上,所述栅绝缘层覆盖所述沟道部;
栅极层,设置于所述栅绝缘层上;
其中,所述栅极层在所述沟道部上的正投影位于所述沟道部内,所述沟道部在所述栅绝缘层上的正投影位于所述栅绝缘层内。
在本申请的显示面板中,在所述显示面板的俯视图方向上,所述源漏极的面积小于所述导体部的面积,所述源漏极与所述栅绝缘层分离设置。
在本申请的显示面板中,在所述显示面板的俯视图方向上,所述源漏极的面积和所述导体部的面积相等,所述源漏极与所述栅绝缘层具有重叠部分。
在本申请的显示面板中,所述显示面板还包括:
钝化层,设置于所述衬底上,所述钝化层覆盖所述栅极层、所述源漏极层以及部分所述衬底;
端子层,设置于所述钝化层上,所述端子层包括多个端子,多个所述端子通过第一过孔与所述源漏极电连接,所述第一过孔贯穿部分所述钝化层。
在本申请的显示面板中,所述显示面板还包括:
遮光层,设置于所述衬底和所述有源层之间,所述有源层在所述遮光层上正投影位于所述遮光层内;
缓冲层,设置于所述遮光层与所述有源层之间,所述缓冲层覆盖所述遮光层;
其中,部分所述端子通过第二过孔与所述遮光层电连接,所述第二过孔贯穿所述钝化层以及部分所述缓冲层。
在本申请的显示面板中,在所述显示面板的俯视图方向上,所述端子层和所述栅极层具有重叠部。
本申请还提出了一种显示面板的制作方法,其包括:
在衬底依次形成有源材料层和源漏材料层;
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