[发明专利]显示面板及其制作方法、移动终端在审
申请号: | 202111346119.0 | 申请日: | 2021-11-15 |
公开(公告)号: | CN114122144A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 郑帅;宋志伟;刘兆松;徐源竣 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/32;H01L21/336 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李莎 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 移动 终端 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
衬底;
有源层,设置于所述衬底上,所述有源层包括沟道部和位于所述沟道部两侧的导体部;以及
源漏极层,设置于所述有源层上,所述源漏极层包括源漏极,所述源漏极设置于所述导体部远离所述衬底一侧的表面上。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括:
栅绝缘层,设置于所述有源层上,所述栅绝缘层覆盖所述沟道部;
栅极层,设置于所述栅绝缘层上;
其中,所述栅极层在所述沟道部上的正投影位于所述沟道部内,所述沟道部在所述栅绝缘层上的正投影位于所述栅绝缘层内。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,在所述显示面板的俯视图方向上,所述源漏极的面积小于所述导体部的面积,所述源漏极与所述栅绝缘层分离设置。
4.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,在所述显示面板的俯视图方向上,所述源漏极的面积和所述导体部的面积相等,所述源漏极与所述栅绝缘层具有重叠部分。
5.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括:
钝化层,设置于所述衬底上,所述钝化层覆盖所述栅极层、所述源漏极层以及部分所述衬底;
端子层,设置于所述钝化层上,所述端子层包括多个端子,多个所述端子通过第一过孔与所述源漏极电连接,所述第一过孔贯穿部分所述钝化层。
6.根据权利要求5所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括:
遮光层,设置于所述衬底和所述有源层之间,所述有源层在所述遮光层上正投影位于所述遮光层内;
缓冲层,设置于所述遮光层与所述有源层之间,所述缓冲层覆盖所述遮光层;
其中,部分所述端子通过第二过孔与所述遮光层电连接,所述第二过孔贯穿所述钝化层以及部分所述缓冲层。
7.根据权利要求5所述的显示面板,其特征在于,在所述显示面板的俯视图方向上,所述端子层和所述栅极层具有重叠部。
8.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
在衬底依次形成有源材料层和源漏材料层;
利用多段式掩膜版对所述有源材料层和所述源漏材料层进行图案化处理,以使所述有源材料层形成图案化后的有源层,以及使所述源漏材料层形成包括源漏极的源漏极层;
对图案化后的部分所述有源层进行导体化处理,以使与所述源漏极接触的部分所述有源层形成导体部和位于相邻所述导体部之间的沟道部。
9.根据权利要求8所述的显示面板的制作方法,其特征在于,利用多段式掩膜版对所述有源材料层和所述源漏材料层进行图案化处理的步骤,包括:
在所述有源材料层和所述源漏材料层上形成光阻层;
利用多段式掩膜版对所述光阻层图案化处理,以使所述光阻层形成第一光阻图案;
利用第一蚀刻工艺,对所述有源材料层和所述源漏材料层进行第一次图案化处理,以使所述有源材料层形成所述有源层,以及使所述源漏材料层形成源漏中间层;
利用灰化工艺对所述第一光阻图案进行处理,以使所述第一光阻图案形成第二光阻图案;
利用第二蚀刻工艺,对所述源漏中间层进行第二次图案化处理,以及使所述源漏中间层形成包括源漏极的源漏极层。
10.一种移动终端,其特征在于,所述移动终端包括终端主体和如权利要求1至7任一项所述的显示面板,所述终端主体和所述显示面板组合为一体。
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