[发明专利]一种太阳能电池的制造方法及其制造装置

说明书

本发明提供一种太阳能电池的制造装置、方法及太阳能电池组件，该太阳能电池的制造装置包括：运输腔，所述运输腔内设有纵向形状的传输轨道，所述纵向形状的传输轨道具有位于所述传输轨道两侧的第一侧和第二侧；可移动框架并且具有框架开口；薄膜粘附到可移动框架并且具有多个薄膜开口，框架开口暴露多个薄膜开口，每个薄膜开口暴露附接至薄膜的对应基片，该方法减少太阳能电池制造装置的占地面积，节约成本。

技术领域

本发明涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种太阳能电池的制造方法及其制造装置。

背景技术

太阳能电池也称为光伏电池，是利用光伏效应将太阳能辐射直接转化为电能的发电技术，其具有资源充足、清洁、安全、使用寿命长等优点，被认为是最具有前景的可再生能源技术之一。

目前太阳能电池中的硅异质结电池具有低温制备、工艺步骤简单、温度系数优越、产品稳定性好等优点，有望成为光伏行业的主流技术之一。该硅异质结电池包括：单晶硅基片，位于单晶硅基片正面和背面的本征层，正面本征层上的N型掺杂层，背面本征层上的P型掺杂层，位于N型掺杂层上的导电透明层和P型掺杂层上的导电透明层。

然而，目前用于制备硅异质结电池的现有系统占地面积大且成本高昂，这是因为将系统分解成若干段反应室并要求自动化设备将基片分配到基片载体上，然后再处理之后将基片收集回去。

发明内容

本发明提供一种太阳能电池的制造方法及其制造装置，该方法能够避免翻转基片，以减少太阳能电池制造装置的占地面积，节约成本。

第一方面，本发明提供一种用于太阳能电池的制造装置，包括：包含框架开口的框架；以及薄膜，所述薄膜被配置成耦合到所述框架且覆盖所述框架开口的至少一部分，所述薄膜包括薄膜开口，其中所述薄膜开口具有等于或小于所述框架开口的框架开口面积的薄膜开口面积；其中所述薄膜经配置以用于与所述基片耦合，其中当所述基片与所述薄膜耦合时，所述基片覆盖所述薄膜开口且其中所述薄膜经配置以将所述基片维持在相对于所述框架的设定位置，且其中所述薄膜开口面积小于所述基片的总面积。

本发明提供的太阳能电池的制造装置的有益效果在于：通过在基片周围设置薄膜，薄膜起到屏障作用，可以避免在基片正面等离子沉积过程中等离子扩散到基片背面，以及避免在基片背面等离子沉积过程中等离子扩散到基片正面，而且，因为框架上设有薄膜，所以可以在框架上的基片的正面和背面完成等离子沉积，从而能够避免翻转基片，以提高太阳能电池组件的成品质量。

可选地，所述装置还包括所述基片，其中所述基片耦合到所述薄膜并且覆盖所述薄膜开口。

可选地，基片经由粘合剂或经由一个或多个夹具耦合到薄膜。

可选地，当所述薄膜耦合到所述框架时，所述薄膜处于张力状态。

可选地，所述薄膜至少一部分是太阳能电池的部件。

可选地，所述装置还包括传输轨道，所述传输轨道被配置为在所述薄膜耦合到所述框架时输送所述框架，以及在所述基片耦合到所述薄膜时输送所述框架。传输轨道使得框架能够沿着传输路径传输，或者说，传输轨道使得框架从一个处理站移动到下一个处理站。

可选地，所述框架包括第一磁体，并且其中所述传输轨道包括第二磁体，所述第二磁体被配置为与所述框架的所述第一磁体相互作用，以将所述框架保持在相对于所述传输轨道的某个位置，第一磁体和第二磁体的作用在于使得框架保持垂直取向。

可选地，所述装置还包括多个处理站，其中所述传输轨道被配置为按顺序地将所述框架，所述薄膜和所述基片移动到所述处理站。