[发明专利]显示面板及其制作方法

权利要求书

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括步骤：

提供一衬底基板；

在所述衬底基板上形成有机材料层；

在所述有机材料层上形成透明导电层；

对所述透明导电层进行氧化处理；以及

形成显示面板；

所述对所述透明导电层进行氧化处理的步骤中，包括步骤：

将带有所述透明导电层的衬底基板放置在刻蚀机台中；以及

通入预设时间的氧化气体，在预设温度下反应，以完成氧化处理；

其中，所述氧化气体的通入速率为30-600sccm，所述预设时间为5-30秒；所述预设温度为50-120摄氏度。

2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述有机材料层为彩色光阻层。

3.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述氧化气体包括氧气、臭氧和氯气中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，

所述衬底基板为彩膜基板；

所述形成显示面板的步骤中包括：

提供一阵列基板与所述彩膜基板成盒形成显示面板。

5.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，

所述衬底基板为阵列基板；

所述在所述衬底基板上形成有机材料层的步骤中包括：

在所述衬底基板上形成主动开关阵列层；以及

在所述主动开关阵列层上形成彩色光阻层；

所述形成显示面板的步骤中包括：

提供一对盒基板与所述阵列基板对立成盒形成显示面板。

6.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述彩色光阻层包括：红色光阻、绿色光阻、蓝色光阻、黄色光阻、透明光阻和黑色光阻的一种或多种。

7.一种显示面板，其特征在于，采用上述权利要求1-6任意一项所述的显示面板的制作方法制成；

所述显示面板包括：衬底基板、有机材料层和透明导电层，所述有机材料层设置在衬底基板上，所述透明导电层设置在所述有机材料层上，在沿所述透明导电层至所述衬底基板的方向上，所述透明导电层的游离小分子有机物的含量逐渐降低。