[发明专利]激光照射装置以及激光照射方法

权利要求书

1.一种激光照射装置，其特征在于，包括：

激光光源，发射激光束；

第一透镜，供从所述激光光源发射的所述激光束穿过；

第一扫描仪，反射穿过所述第一透镜的所述激光束，并改变所述激光束的方向；

第二扫描仪，反射在所述第一扫描仪中偏向的所述激光束，并改变所述激光束的方向；

多个第二透镜，供在所述第二扫描仪中偏向的所述激光束穿过，并向一方向振动；以及

光学元件，供穿过所述多个第二透镜的所述激光束穿过，并校正入射基板的所述激光束的入射角。

2.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述多个第二透镜改变在所述第二扫描仪中偏向的所述激光束的入射位置。

3.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述光学元件向与所述多个第二透镜的振动方向垂直的方向振动。

4.根据权利要求3所述的激光照射装置，其特征在于，

所述多个第二透镜的振动周期和所述光学元件的振动周期相同。

5.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述多个第二透镜中的至少一个振动。

6.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述第一扫描仪为可振动的电流镜，

所述第二扫描仪为可旋转的多面体镜。

7.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述光学元件具有形状相同的两个棱镜粘贴的形态。

8.根据权利要求7所述的激光照射装置，其特征在于，

所述棱镜各自为六面体，

所述光学元件具有所述棱镜各自的一面彼此粘贴的对称形态。

9.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述光学元件配置在所述多个第二透镜下方。

10.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述光学元件由石英形成。

11.一种激光照射方法，其特征在于，包括：

从激光光源发射激光束的步骤；

从所述激光光源发射的所述激光束入射第一透镜的步骤；

穿过所述第一透镜的所述激光束被第一扫描仪反射，并改变所述激光束的方向的步骤；

被所述第一扫描仪偏向的所述激光束被第二扫描仪反射，并改变所述激光束的方向的步骤；

被所述第二扫描仪偏向的所述激光束入射向一方向振动的多个第二透镜的步骤；

穿过所述多个第二透镜的所述激光束入射光学元件并校正入射角的步骤；以及

将穿过所述光学元件的所述激光束照射到基板来进行扫描的步骤。

12.根据权利要求11所述的激光照射方法，其特征在于，

当穿过所述光学元件的所述激光束照射到所述基板上时，扫描位置向与所述多个第二透镜的振动方向相同的方向移动。

13.根据权利要求11所述的激光照射方法，其特征在于，

所述多个第二透镜改变在所述第二扫描仪中偏向的所述激光束的入射位置。

14.根据权利要求11所述的激光照射方法，其特征在于，

所述光学元件向与所述多个第二透镜的振动方向垂直的方向振动。

15.根据权利要求14所述的激光照射方法，其特征在于，

所述多个第二透镜的振动周期和所述光学元件的振动周期相同。