[发明专利]一种超薄碳化硅单晶衬底的制备设备及方法

权利要求书

1.一种超薄碳化硅单晶衬底的制备设备，其特征在于：包括安装平台(100)，所述安装平台(100)包括台面板(102)，所述台面板(102)顶部的中央转动连接有旋转送料台(200)，所述旋转送料台(200)的轴体穿过所述台面板(102)底部与传送电机(103)的输出轴固定连接，所述传送电机(103)固定安装于所述台面板(102)的底部，所述旋转送料台(200)顶部四周均匀固定连接有至少两片晶圆底衬(400)，所述台面板(102)顶部的左侧固定连接有研磨支架(107)，所述研磨支架(107)的顶部沿水平方向轴承连接有丝杠(106)和滑轴(108)，所述丝杠(106)和所述滑轴(108)之间设置有筛液研磨头(300)，所述丝杠(106)的一端与往复电机(105)的输出轴固定连接，所述往复电机(105)固定安装于所述研磨支架(107)表面，所述往复电机(105)用于驱动所述筛液研磨头(300)做横向的来回往复运动，所述台面板(102)的底部左侧且对应所述晶圆底衬(400)位置处固定安装有顶升液压缸(104)，所述顶升液压缸(104)用于顶升所述晶圆底衬(400)进行研磨减薄，所述晶圆底衬(400)的一侧设置有减薄液喷洒装置(500)，用于向所述晶圆底衬(400)研磨面喷洒减薄液，所述台面板(102)底部的右侧设置有控制器(101)，所述控制器(101)用于控制所述旋转送料台(200)和所述筛液研磨头(300)运行。

2.根据权利要求1所述的一种超薄碳化硅单晶衬底的制备设备，其特征在于：所述旋转送料台(200)包括转动底座(201)，所述转动底座(201)轴承连接于所述台面板(102)顶部中央，所述转动底座(201)顶部四周均匀开设有至上两个滑孔(20101)，所述滑孔(20101)内部滑动连接有滑块座(203)，所述滑块座(203)的顶部设置有真空吸盘(204)，各所述真空吸盘(204)与抽真空设备连接，所述滑块座(203)底部固定连接有顶升板(202)，所述顶升液压缸(104)用于顶升所述顶升板(202)。

3.根据权利要求2所述的一种超薄碳化硅单晶衬底的制备设备，其特征在于：所述筛液研磨头(300)包括安装框(302)，所述安装框(302)内壁的左右两侧之间并排固定连接有内螺纹套(303)和滑套(301)，所述内螺纹套(303)与所述丝杠(106)螺接，所述滑套(301)与所述滑轴(108)滑动连接，所述安装框(302)内壁顶部中央处固定安装有调节液压缸(304)，所述安装框(302)底部固定连接有保护罩(305)，所述保护罩(305)的内部设置有摩擦块(306)，所述调节液压缸(304)伸缩轴的底端穿过所述保护罩(305)和所述摩擦块(306)轴承连接于螺纹杆(313)的顶部，所述螺纹杆(313)的底部固定连接有研磨盘座(311)，所述螺纹杆(313)的表面啮合有升降简(307)，所述升降简(307)四周表面的中央处套设有固定环(309)和补位弹簧(317)，所述补位弹簧(317)的顶部与所述升降简(307)的顶部转动连接，所述固定环(309)的四周表面均匀设置有筛选翼板(308)，所述研磨盘座(311)四周表面均匀设置有区间槽(31101)，所述筛选翼板(308)插接于所述区间槽(31101)内部，所述升降简(307)的外部套设锥齿轮一(314)，所述锥齿轮一(314)固定连接于所述研磨盘座(311)的顶部，所述锥齿轮一(314)顶部的一侧啮合有锥齿轮二(315)，所述锥齿轮二(315)与研磨电机(310)的输出轴固定连接，所述研磨电机(310)固定安装于随动电机支架(316)表面，所述随动电机支架(316)固定连接于所述安装框(302)底部，所述随动电机支架(316)为提供所述研磨电机(310)上下位移的结构，所述研磨盘座(311)底部均匀设置有至少两个研磨块(312)。