[发明专利]晶体制备压力容器的压力控制系统在审
| 申请号： | 202110798426.6 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113502545A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 袁韶阳;于会永;冯佳峰 | 申请（专利权）人： | 大庆溢泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B15/20;C30B15/10;C30B11/00 |
| 代理公司： | 黑龙江省百盾知识产权代理事务所(普通合伙) 23218 | 代理人： | 孙淑荣 |
| 地址： | 163000 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体 制备 压力容器 压力 控制系统 | ||
1.一种晶体制备压力容器(1)的压力控制系统，包括压力容器(1)、密封石英管(2)和压力容器(1)的进气排气系统，所述的密封石英管(2)位于压力容器(1)内，其特征在于：所述的密封石英管(2)不少于三个，多个密封石英管(2)依次套装，用于磷化铟单晶生长的多晶料、掺杂剂、液封剂及红磷装于最内层的密封石英管(2)内，其余密封石英管(2)内填充有石墨粉(5)和红磷，其中红磷的质量由内管向外管呈梯度下降，保证磷升华为P4状态时每层石英管的内外压差均不大于1atm，密封石英管(2)底部与其外层的密封石英管(2)底部之间设置有防止高温下石英材质之间发生粘连的支撑块(4)。
2.根据权利要求1所述的一种晶体制备压力容器(1)的压力控制系统，其特征在于：所述的进气排气系统包括进气管路、排气管路、热交换器(6)和加热装置(7)，所述的排气管路与热交换器(6)连接，通过热交换器(6)散热后向外排气，所述的进气管路与热交换器(6)连接，通过热交换器(6)吸热后进入到加热装置(7)再次升温，温度提升后进入到压力容器(1)中。
3.根据权利要求2所述的一种晶体制备压力容器(1)的压力控制系统，其特征在于：所述的热交换器(6)上游的进气管路上依次串接有常开式高压电磁阀A(12)、减压阀(11)、高压球阀A(10)、高压针阀A(9)和压力表(8)，热交换器(6)下游的排气管路分为并联的两条管路，分别称为常态排气管路和紧急泄压管路，其中常态排气管路上串接有高压球阀B(13)、高压针阀B(14)和常开式高压电磁阀B(15)；所述的紧急泄压管路上串接有压力变送器(16)和常闭式高压电磁阀(17)。
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