[发明专利]半导体清洗设备及其溶液流量监测装置

权利要求书

1.一种半导体清洗设备的溶液流量监测装置，设置于所述半导体清洗设备内，用于对所述半导体清洗设备的有机溶液进行流量监测，其特征在于，包括：防爆盒及超声波流量计；

所述防爆盒设置于半导体清洗设备内，并且所述防爆盒内具有密封的容置空间；

所述超声波流量计设置于所述容置空间内部，并且超声波流量计的进液口及出液口均设置于所述防爆盒的盒壁上，所述超声波流量计的轴向沿水平方向设置，所述进液口及所述出液口在所述超声波流量计的轴向上具有一预设间距，所述预设间距大于等于108毫米，且小于等于115毫米。

2.如权利要求1所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述超声波流量计的线缆伸出所述容置空间与所述半导体清洗设备的电气盒连接；

所述溶液流量监测装置还包括屏蔽管组件，所述屏蔽管组件的两端分别与所述防爆盒及所述电气盒密封连接，用于对所述超声波流量计的线缆进行屏蔽密封。

3.如权利要求1所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述预设间距为110毫米。

4.如权利要求1所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述防爆盒设置于所述半导体清洗设备的药液区，所述进液口及所述出液口处均设置有直连管，以用于分别与所述半导体清洗设备的有机溶液供给源及加热器连接。

5.如权利要求1所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述超声波流量计包括检测管及检测器，所述检测管的轴向沿水平方向设置，所述进液口及所述出液口沿所述检测管的轴向排布，两个所述检测器分别安装于所述检测管的两端，用于向所述检测管内发射或接收超声波。

6.如权利要求2所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述屏蔽管组件包括柔性管及卡套接头，所述柔性管的两端分别通过所述卡套接头与所述防爆盒及所述电气盒密封连接，所述柔性管用于嵌套所述超声波流量计的线缆。

7.如权利要求6所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述柔性管包括抗腐蚀材质的波纹管结构。

8.如权利要求6所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述卡套接头为金属材质的卡套接头，并且所述卡套接头的一端与所述防爆盒及所述电气盒采用螺接方式密封连接，另一端与所述柔性管采用卡接方式密封连接。

9.如权利要求2所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述防爆盒为金属材质的长方体结构，所述超声波流量计的轴向与所述防爆盒的长度方向平行设置，所述进液口及所述出液口均位于所述防爆盒的顶壁上，所述屏蔽管组件与所述防爆盒的顶壁密封连接。

10.如权利要求9所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述溶液流量监测装置还包括进气接头及出气接头，所述进气接头及所述出气接头分别密封连接于所述防爆盒侧壁上，用于向所述容置空间内通入及排出保护气体。

11.如权利要求1至10的任一所述的溶液流量监测装置，其特征在于，所述防爆盒底部设置有安装板，所述安装板的周缘处设置有多个连接孔，用于设置多个紧固件以与所述半导体清洗设备连接。

12.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至11的任一所述的溶液流量监测装置。