[发明专利]基板处理装置、用于测量升降销之间高度差的方法及存储有处理程序的计算机可读记录介质

权利要求书

1.一种用于处理基板的装置，所述装置包括：

腔室，所述腔室被配置为提供处理空间，在所述处理空间中处理所述基板；

支撑单元，所述支撑单元设置在所述处理空间中并被配置为支撑所述基板，所述支撑单元包括多个升降销，所述多个升降销被配置为向上或向下移动以定位所述基板；

传送机械手，所述传送机械手被配置为将所述基板装载到所述处理空间中或从所述处理空间卸载所述基板；

位置测量传感器，所述位置测量传感器被配置为测量第一中心位置以及第二中心位置，所述第一中心位置是在传送机械手将所述基板装载到所述支撑单元上之前测量的所述基板的中心相对于参考位置的位置，所述第二中心位置是在所述传送机械手拾取从所述支撑单元卸载的所述基板之后测量的所述基板的中心相对于所述参考位置的位置；和

处理器，所述处理器被配置为根据所述第一中心位置和所述第二中心位置之间的向量差推导出所述多个升降销中的至少一个和其他升降销之间的高度差。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述位置测量传感器是自动晶片定中心(AWC)传感器，其安装在所述腔室的开口的顶部或底部并被配置为测量穿过所述腔室的所述开口的所述基板的位置。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一中心位置和所述第二中心位置中的每一个包括x坐标和y坐标。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个升降销联接至支撑板，并且

其中所述支撑板连接至致动器，所述致动器被配置为提供驱动力以沿上/下方向升高和降低所述支撑板。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置：

执行多次将所述基板装载到所述支撑单元上以及从所述支撑单元卸载所述基板的操作；

响应于多次将所述基板装载到所述支撑单元上而多次测量所述第一中心位置，并响应于多次从所述支撑单元卸载所述基板而多次测量所述第二中心位置；和

根据多次测量的所述第一中心位置的平均值与多次测量的所述第二中心位置的平均值之间的向量差推导出所述多个升降销中的至少一个与其他升降销之间的高度差。

6.根据权利要求1所述的装置，其中在所述基板被装载到所述支撑单元上的情况下，在测量所述第一中心位置之后测量所述第二中心位置之前，所述装置多次升高和降低所述多个升降销。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个升降销包括相对于所述支撑单元的中心以120度的角度彼此周向间隔开的三个升降销。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述基板由于所述多个升降销中的至少一个与其他升降销之间的高度差而滑动，

其中所述基板的滑动方向与所述多个升降销之中处于较高位置的升降销所在的方向相反，并且

其中所述第一中心位置与所述第二中心位置之间的所述向量差对应于所述基板的所述滑动方向，并用于推导出所述多个升降销之中处于所述较高位置的所述升降销。

9.根据权利要求1所述的装置，其中当推导出所述多个升降销之中的至少一个与其他升降销之间的高度差时，在所述装置外部提供警报。

10.一种测量升降销之间高度差的方法，所述方法包括：

接收第一中心位置，所述第一中心位置是在传送机械手将基板装载到设置在处理腔室中的支撑单元上之前测量的所述基板的中心相对于参考位置的位置，所述支撑单元包括多个升降销；

接收第二中心位置，所述第二中心位置是在所述传送机械手拾取从所述支撑单元卸载的所述基板之后测量的所述基板的中心相对于所述参考位置的位置；和

根据所述第一中心位置和所述第二中心位置之间的向量差推导出多个升降销中的至少一个与其他升降销之间的高度差。