[发明专利]一种工业机器人芯片制造设备在审
申请号: | 202110607531.7 | 申请日: | 2021-06-01 |
公开(公告)号: | CN113594062A | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 沈国峰 | 申请(专利权)人: | 海宁市联行智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 潘翔 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工业 机器人 芯片 制造 设备 | ||
1.一种工业机器人芯片制造设备,其特征在于:包括主体(1)、金属件(2),所述金属件(2)外侧活动安装有作用板(3),所述作用板(3)前端活动连接有撑件(4),所述撑件(4)下端固定安装有辅助条(5),所述撑件(4)底端且位于辅助条(5)中间活动安装有承接板(6),所述承接板(6)下方活动连接有作用孔(7),作用孔(7)内侧活动连接有撑架(8),撑架(8)底端活动连接有基板件(9)。
2.根据权利要求1所述的一种工业机器人芯片制造设备,其特征在于:所述作用板(3)包括有金属布线(10),所述金属布线(10)外侧且位于基板件(9)左右两侧均固定安装有中心杆(11),中心杆(11)底端活动连接有弹簧部件(12),弹簧部件(12)数量共有两个且为呈一种螺旋形状。
3.根据权利要求1所述的一种工业机器人芯片制造设备,其特征在于:还包括中间块(13),所述中间块(13)中间活动连接有钻接头(14),所述钻接头(14)正下方活动连接有切板(15),所述切板(15)底端活动连接有芯片块(16),所述芯片块(16)为一种金属铝材质且关于钻接头(14)中心对称。
4.根据权利要求1所述的一种工业机器人芯片制造设备,其特征在于:还包括钢丝绳(17),所述钢丝绳(17)前端活动连接有转动辊(18),所述转动辊(18)右端固定连接有安装架(19),所述转动辊(18)底端活动连接有转动杆(20),所述转动杆(20)与转动辊(18)规格尺寸相互适配且相等联动。
5.根据权利要求1所述的一种工业机器人芯片制造设备,其特征在于:还包括推动杆(21),所述推动杆(21)后端活动连接有中间架(22),所述中间架(22)后端且位于推动杆(21)左侧活动安装有转动盘(23),所述中间架(22)左端固定安装有金属座(24),所述作用板(3)底端且位于金属座(24)内侧活动连接有封装杆(25),封装杆(25)底端活动安装有摆动块(26),摆动块(26)远离金属座(24)的一端且位于芯片块(16)下端活动连接有升降块(27),升降块(27)左右两侧均活动连接有横件(28),横件(28)底端活动连接有作用杆(29),作用杆(29)底端活动连接有摆动轴(30),摆动轴(30)外侧且位于升降块(27)左右两侧均活动连接有限位框(31),限位框(31)右端活动连接有转动叶(32),限位框(31)正下方活动连接有处理室(33),处理室(33)横截面长正方形,处理室(33)与限位框(31)的中轴线在同一直线上且相邻的两个摆动轴(30)之间的距离和角度相同。
6.根据权利要求5所述的一种工业机器人芯片制造设备,其特征在于:所述转动叶(32)内侧与摆动轴(30)一端活动连接,转动叶(32)通过安装框架活动连接有限位框(31),并且摆动轴(30)的形状为圆柱形状,转动叶(32)上的纹理与内侧安装框架纹理相适配,并且转动叶(32)的规格尺寸均相同且以限位框(31)的中心为参照呈均匀分布。
7.根据权利要求1所述的一种工业机器人芯片制造设备,其特征在于:所述主体(1)顶端与金属件(2)外侧活动连接,作用板(3)底部且位于承接板(6)底端活动连接有钢丝绳(17),钢丝绳(17)底端且位于远离安装架(19)的一端活动连接有推动杆(21),推动杆(21)一侧与中间架(22)活动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造