[发明专利]显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底在审
| 申请号: | 202110395613.X | 申请日: | 2021-04-13 |
| 公开(公告)号: | CN113130534A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
| 发明(设计)人: | 段正;郭康;刘震;谷新;袁广才 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/28 | 分类号: | H01L27/28 |
| 代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 陈蕾 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显示 面板 衬底 制备 方法 | ||
本公开提供了一种显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底。该衬底的制备方法包括:提供基板,所述基板的一侧的表面包括多个第一区域和多个第二区域,所述第一区域和所述第二区域沿着预设方向交错排列;在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱,以使设有所述纳米柱的所述第一区域的接触角大于所述第二区域的接触角。本公开能够形成碳纳米管薄膜。
技术领域
本公开涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底。
背景技术
随着人们生活水平的提高,显示面板引起了人们越来越多的关注。
显示面板中通常设置有薄膜晶体管。该薄膜晶体管的有源层的材料主要包括非晶硅与多晶硅两种。其中,非晶硅成本低,工艺简单,但是迁移率低,很难满足显示面板的发光需求,然而多晶硅工艺复杂,受限于离子注入及激光晶化等复杂的设备。由于碳纳米管(CarbonNanotube,CNT)相对于多晶硅或非晶硅而言,具有较高的迁移率,且碳纳米管薄膜的柔性及耐折度较高,从而可以采用碳纳米管薄膜作为薄膜晶体管的有源层。然而,该碳纳米管薄膜难以形成。
发明内容
本公开的目的在于提供一种显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底,能够形成碳纳米管薄膜。
根据本公开的一个方面,提供一种衬底的制备方法,包括:
提供基板,所述基板的一侧的表面包括多个第一区域和多个第二区域,所述第一区域和所述第二区域沿着预设方向交错排列;
在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱,以使设有所述纳米柱的所述第一区域的接触角大于所述第二区域的接触角。
进一步地,在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱包括:
形成覆盖各所述第一区域的辅助层;
图案化所述辅助层,以在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱。
进一步地,所述辅助层覆盖所述第二区域;图案化所述辅助层包括:
图案化所述辅助层对应于所述第一区域的部分,并去除所述辅助层对应于所述第二区域的部分。
进一步地,图案化所述辅助层包括:
通过光刻工艺图案化所述辅助层。
进一步地,所述辅助层的材料为有机胶材。
根据本公开的一个方面,提供一种显示基板的制备方法,包括:
采用上述的衬底的制备方法制备衬底;
通过碳纳米管溶液在所述第二区域上形成碳纳米管薄膜。
进一步地,所述制备方法还包括:
去除所述纳米柱。
根据本公开的一个方面,提供一种显示面板的制备方法,包括上述的显示基板的制备方法。
根据本公开的一个方面,提供一种衬底,包括:
基板,所述基板的一侧的表面包括多个第一区域和多个第二区域,所述第一区域和所述第二区域沿着预设方向交错排列;
纳米柱,各所述第一区域均设有间隔设置的多个所述纳米柱,以使设有所述纳米柱的所述第一区域的接触角大于所述第二区域的接触角。
进一步地,所述纳米柱的材料为有机胶材。
进一步地,所述纳米柱的高度等于10nm-200nm。
进一步地,所述纳米柱的横截面的最大尺寸等于5nm-200nm。
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H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





