[发明专利]显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底在审

专利信息
申请号: 202110395613.X 申请日: 2021-04-13
公开(公告)号: CN113130534A 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 段正;郭康;刘震;谷新;袁广才 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/28 分类号: H01L27/28
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 陈蕾
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 显示 面板 衬底 制备 方法
【说明书】:

本公开提供了一种显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底。该衬底的制备方法包括:提供基板,所述基板的一侧的表面包括多个第一区域和多个第二区域,所述第一区域和所述第二区域沿着预设方向交错排列;在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱,以使设有所述纳米柱的所述第一区域的接触角大于所述第二区域的接触角。本公开能够形成碳纳米管薄膜。

技术领域

本公开涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底。

背景技术

随着人们生活水平的提高,显示面板引起了人们越来越多的关注。

显示面板中通常设置有薄膜晶体管。该薄膜晶体管的有源层的材料主要包括非晶硅与多晶硅两种。其中,非晶硅成本低,工艺简单,但是迁移率低,很难满足显示面板的发光需求,然而多晶硅工艺复杂,受限于离子注入及激光晶化等复杂的设备。由于碳纳米管(CarbonNanotube,CNT)相对于多晶硅或非晶硅而言,具有较高的迁移率,且碳纳米管薄膜的柔性及耐折度较高,从而可以采用碳纳米管薄膜作为薄膜晶体管的有源层。然而,该碳纳米管薄膜难以形成。

发明内容

本公开的目的在于提供一种显示面板、显示基板及衬底的制备方法、衬底,能够形成碳纳米管薄膜。

根据本公开的一个方面,提供一种衬底的制备方法,包括:

提供基板,所述基板的一侧的表面包括多个第一区域和多个第二区域,所述第一区域和所述第二区域沿着预设方向交错排列;

在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱,以使设有所述纳米柱的所述第一区域的接触角大于所述第二区域的接触角。

进一步地,在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱包括:

形成覆盖各所述第一区域的辅助层;

图案化所述辅助层,以在各所述第一区域上均形成间隔设置的多个纳米柱。

进一步地,所述辅助层覆盖所述第二区域;图案化所述辅助层包括:

图案化所述辅助层对应于所述第一区域的部分,并去除所述辅助层对应于所述第二区域的部分。

进一步地,图案化所述辅助层包括:

通过光刻工艺图案化所述辅助层。

进一步地,所述辅助层的材料为有机胶材。

根据本公开的一个方面,提供一种显示基板的制备方法,包括:

采用上述的衬底的制备方法制备衬底;

通过碳纳米管溶液在所述第二区域上形成碳纳米管薄膜。

进一步地,所述制备方法还包括:

去除所述纳米柱。

根据本公开的一个方面,提供一种显示面板的制备方法,包括上述的显示基板的制备方法。

根据本公开的一个方面,提供一种衬底,包括:

基板,所述基板的一侧的表面包括多个第一区域和多个第二区域,所述第一区域和所述第二区域沿着预设方向交错排列;

纳米柱,各所述第一区域均设有间隔设置的多个所述纳米柱,以使设有所述纳米柱的所述第一区域的接触角大于所述第二区域的接触角。

进一步地,所述纳米柱的材料为有机胶材。

进一步地,所述纳米柱的高度等于10nm-200nm。

进一步地,所述纳米柱的横截面的最大尺寸等于5nm-200nm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110395613.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top