[发明专利]一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法

权利要求书

1.一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于，在BSD工序后，采用如下步骤进行清洗，

步骤一，使用预清洗液进行预清洗，预清洗液包括氨水、双氧水以及去离子水，所述氨水、双氧水以及去离子水的体积比为2:2:11；

氨水的质量百分比浓度为28％-31％，双氧水的质量百分比浓度为30％-32％；

步骤二，蒸馏水清洗；

步骤三，一次清洗液浸泡清洗，所述一次清洗液包括氢氟酸、柠檬酸以及去离子水；氢氟酸、柠檬酸以及去离子水的体积比为15:3～5:55～57；

氢氟酸质量百分比浓度为48％-50％，柠檬酸的质量百分比浓度为49％-51％；

步骤四，二次清洗液浸泡清洗，所述二次清洗液包括盐酸、双氧水以及去离子水，盐酸以及双氧水的比例为1:1，盐酸、双氧水以及去离子水的体积比为6～9:6～9:57-63；

盐酸的质量百分比浓度为36％-38％；

步骤五，蒸馏水清洗；

步骤六，采用硅片甩干机甩干；

BSD工序的喷砂磨料为金钢砂，喷砂的空气压力1.5±0.1Kg/cm³，喷砂片距即喷嘴距硅片215±15mm，喷砂时间控制在6-8秒/片，硅片输送带的带速为1.2±0.1m/min；

重金属缺陷的检测方法对硅片进行高温退火后，采用ICP-MS进行检测，获得硅片表面的金属Ni以及Cu的含量；

高温退火的方法为硅片从800℃开始，以5℃/min加温至1100℃，1100℃恒温10min后，以2℃/min降温至800℃；

高温退火过程中，以18L/min的流量输送氮气。

2.根据权利要求1所述的一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于：步骤二以及步骤五蒸馏水中氮气鼓泡。

3.根据权利要求1所述的一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于：步骤一中，氨水的质量百分比浓度为29％，双氧水的质量百分比浓度为31％。

4.根据权利要求1所述的一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于：步骤三中，氢氟酸质量百分比浓度为49％，柠檬酸的质量百分比浓度为50％。

5.根据权利要求4所述的一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于：步骤三中，氢氟酸的体积为15L，柠檬酸的体积为4L，一次清洗液的总体积为75L。

6.根据权利要求1所述的一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于：步骤四中，盐酸的质量百分比浓度为37％，双氧水的质量百分比浓度为31％。

7.根据权利要求6所述的一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于：步骤四中，盐酸的体积为7.5L，双氧水的体积为7.5L，二次清洗液的总体积为75L。

8.根据权利要求1所述的一种通过BSD后洗净降低重金属及雾状缺陷的方法，其特征在于：步骤三中，氢氟酸质量百分比浓度为49％，柠檬酸的质量百分比浓度为50％；氢氟酸的体积为15L，柠檬酸的体积为3-5L，一次清洗液的总体积为75L；

步骤四中，盐酸的质量百分比浓度为37％，双氧水的质量百分比浓度为31％；

盐酸的体积为7.5L，双氧水的体积为7.5L，二次清洗液的总体积为75L。