[发明专利]原料供给装置和成膜装置

权利要求书

1.一种原料供给装置，其特征在于，包括：

向处理容器内供给原料气体的原料供给通路；

设置于所述原料供给通路的阀；

检测所述原料供给通路内的压力的压力传感器；

与所述原料供给通路连接，对所述原料供给通路内的所述原料气体进行排气的原料排气通路；

设置于所述原料排气通路，通过调节开度来控制所述原料供给通路内的压力的开度调节机构；和

基于所述压力传感器的检测值来调节所述开度调节机构的所述开度的控制部。

2.如权利要求1所述的原料供给装置，其特征在于：

还包括设置于所述原料供给通路的用于贮存所述原料气体的贮存罐。

3.如权利要求1或2所述的原料供给装置，其特征在于：

所述控制部构成为能够调节所述开度调节机构的开度，以使得一边经由所述原料排气通路对所述原料气体进行排气，一边使所述压力传感器的检测值达到目标值而变得稳定。

4.如权利要求3所述的原料供给装置，其特征在于：

所述目标值是基于向所述处理容器内供给所述原料气体而在所述处理容器内实施处理时的所述压力传感器的检测值来确定的。

5.如权利要求1至4中任一项所述的原料供给装置，其特征在于：

所述控制部构成为能够在所述处理容器内收纳有基片的状态下调节所述开度调节机构的开度。

6.如权利要求1至5中任一项所述的原料供给装置，其特征在于：

所述开度调节机构包括：

利用空气压来对阀体进行开闭的气动阀；和

调节被导入所述气动阀的空气压的电动气动调节器，

所述控制部构成为能够控制所述电动气动调节器来调节所述气动阀的开度。

7.如权利要求6所述的原料供给装置，其特征在于：

所述气动阀为ALD阀。

8.如权利要求1至7中任一项所述的原料供给装置，其特征在于：

所述阀为ALD阀。

9.如权利要求1至8中任一项所述的原料供给装置，其特征在于：

所述原料气体是通过固体原料的升华或者液体原料的蒸发来生成的。

10.一种成膜装置，其特征在于，包括：

处理容器；和

向所述处理容器内供给原料气体的原料供给装置，

所述原料供给装置包括：

向所述处理容器内供给所述原料气体的原料供给通路；

设置于所述原料供给通路的阀；

检测所述原料供给通路内的压力的压力传感器；

与所述原料供给通路连接，对所述原料供给通路内的所述原料气体进行排气的原料排气通路；

设置于所述原料排气通路，通过调节开度来控制所述原料供给通路内的压力的开度调节机构；和

基于所述压力传感器的检测值来调节所述开度调节机构的所述开度的控制部。