[发明专利]局部电镀装置

说明书

本发明提供一种局部电镀装置，其能够仅对被镀物的一面实施局部电镀。局部电镀装置(30)具备：在内部具有电解液循环路径的电解液循环结构体(31)和输送被镀物(P)的被镀物输送结构体(32)。电解液循环路径在电解液扩散路径(314)和电解液收缩路径(315)之间具有向电解液循环结构体(31)的外部开放的狭缝状的窗口部(317)。被镀物输送结构体(32)一边使被镀物(P)的一面的区域(a1)与窗口部(317)相对，一边沿着窗口部(317)输送被镀物(P)。

技术领域

本发明涉及一种仅在被镀物的必要部位实施电镀的局部电镀装置。

背景技术

目前，在电子部件等中，有时仅对必要的一部分部位实施电镀。例如，在电极端子部件等中，通过仅对成为触点的部位实施Au的局部电镀，能够减少用于电镀的Au量，有助于降低成本。

在专利文献1中公开了如下的局部电镀装置：以隔着被镀物的移动路径而相对的方式配置电镀液供给单元和电镀液回收单元，使被镀物的一部分通过在这两个单元之间形成的电镀液流路，由此，对被镀物实施局部电镀。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－157984号公报

专利文献1是使被镀物的一部分通过电镀液流路的结构，因此在被镀物的表面侧、背面侧的表面和连接它们的壁面这四个面上实施电镀。即，不能仅对被镀物的一面实施电镀。因此，在被镀物中，在需要电镀的部位仅为一面的情况下，通过对不需要的部位实施电镀，就会多余地使用电镀金属(例如Au)，存在成本增加的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够仅对被镀物的一面实施局部电镀的局部电镀装置。

为了解决上述课题，本发明的局部电镀装置是仅对被镀物的一部分部位实施电镀的局部电镀装置，其特征在于，具有：电解液循环部，其在内部具有电解液循环路径；被镀物输送部，其输送所述被镀物，所述电解液循环路径在其一部分具有向所述电解液循环部的外部开放的狭缝状的窗口部，所述被镀物输送部能够一边使所述被镀物的一面的电镀区域与所述窗口部相对，一边沿所述窗口部输送所述被镀物。

根据上述结构，在由被镀物输送部输送的被镀物中，能够仅使被镀物的一面的电镀区域经由窗口部与在电解液循环路径中流动的电解液接触。由此，能够仅对被镀物的一面实施局部电镀。

另外，在上述局部电镀装置中，可以构成为，所述电解液循环路径在其一部分具有圆弧状部位，所述窗口部设置在所述电解液循环路径的所述圆弧状部位的外周侧。

根据上述结构，利用在圆弧状部位的外周侧设置窗口部，通过窗口部后的电解液以在法线方向上从被镀物的表面离开的方式流动。因此，电解液难以从被镀物的表面的电镀区域绕到侧面或背面，能够抑制对被镀物的不需要的电镀。

另外，在上述局部电镀装置中，可以构成为，在所述电解液循环路径的所述窗口部的下游侧，具有产生电解液的吸引力的电解液吸引部。

根据上述结构，通过在窗口部的下游侧产生电解液的吸引力，能够抑制电解液与被镀物的电镀区域以外接触，能够更有效地抑制对被镀物的不需要的电镀。

另外，在上述局部电镀装置中，可以构成为，所述电解液循环部在所述窗口部的电解液流动方向的上游侧的边缘，与所述电解液循环路相连一侧的面上的角部以具有圆角的方式形成。

根据上述结构，通过在窗口部的边缘设置圆角，在窗口部附近流动的电解液通过圆角产生的附壁效应被引入被镀物侧，能够对被镀物可靠地实施电镀。

发明效果

本发明的局部电镀装置通过仅使被镀物的一面的电镀区域经由窗口部与流过电解液循环路径的电解液接触，起到能够仅对被镀物的一面实施局部电镀的效果。