[发明专利]一种超宽禁带二维半导体GaPS4在审

专利信息
申请号: 202110242678.0 申请日: 2021-03-05
公开(公告)号: CN113035692A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 闫勇;夏从新;杨珏晗;魏钟鸣 申请(专利权)人: 河南师范大学;中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 代理人: 李美宝
地址: 453007 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 超宽禁带 二维 半导体 gaps base sub
【权利要求书】:

1.一种超宽禁带二维半导体GaPS4单晶材料的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:

S10:将镓源、磷源和硫源混合均匀,得到混合物;

S20:将所述混合物真空封入容器内,得到含混合物的密闭容器;所述含混合物的密闭容器设有第一端和与所述第一端对应的第二端;

S30:将所述含混合物的密闭容器倾斜放置在加热设备中,使所述第一端高于所述第二端;所述加热设备设有第一温区和第二温区,所述第一端位于所述第一温区,所述第二端位于所述第二温区;

S40:对所述含混合物的密闭容器采用预生长再重结晶的方法,加热生长得到GaPS4单晶材料。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述镓源为金属镓颗粒、金属镓条、液体金属镓中的任意一种;所述磷源为红磷、紫磷、白磷、黑磷、蓝磷中的任意一种;所述硫源为升华硫单质。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述镓源、磷源、硫源的摩尔比为1:(0.95-1.05):(4-4.1)。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S20中所述容器为石英管或密闭坩埚;所述真空的气压为10-5-10-2Pa。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述倾斜的角度为10-60°。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤S40中所述预生长再重结晶的方法,包括以下步骤:

将所述第一温区升温至600-900℃,将所述第二温区升温至500-800℃,使所述第一温区和所述第二温区的温度梯度为40-100℃,保温24-48h;

然后,采用冷热交换的化学气相传输法提纯得到所述GaPS4单晶材料。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述冷热交换的化学气相传输法包括以下步骤:

将所述第一温区降温至600-650℃,所述第二温区降温至20-100℃,使所述第一温区和所述第二温区的温度梯度为500-630℃,保温24-48h;

然后,将所述第一温区降温至20-100℃,所述第二温区的温度升温至600-650℃,使所述第一温区和所述第二温区的温度梯度为500-630℃,保温24-48h;得到所述GaPS4单晶材料。

8.根据权利要求6或7所述的制备方法,其特征在于,所述升温的速度为15-25℃/h,所述降温的速度为20-30℃/h。

9.一种超宽禁带二维半导体GaPS4纳米材料,其特征在于,将如权利要求1-8任一项所述的GaPS4单晶进行剥离后得到。

10.一种紫外光传感器,其特征在于,由如权利要求1-8任一项所述的GaPS4单晶或如权利要求9所述的GaPS4纳米材料备得到,还包括源电极和漏电极;所述源电极和漏电极的材质为Ni/Au。

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