[发明专利]一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置及其设备

权利要求书

1.一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于，

包括支撑组件和转动组件，所述支撑组件包括底座、多个花篮、支架和侧板，所述底座具有滑道，多个花篮与所述滑道滑动连接，并位于所述滑道的一侧，所述支架与所述底座固定连接，并位于所述底座的一侧，所述侧板与所述底座固定连接，并位于所述滑道的一侧，所述转动组件包括转动电机、传动器、转杆、支撑台、第一气泵、第二气泵、气缸壳、滑动板、连接板和密封板，所述气缸壳具有第一通孔和第二通孔，所述气缸壳与所述侧板固定连接，并位于所述侧板的一侧，所述滑动板与所述气缸壳滑动连接，并位于所述气缸壳内，所述第一气泵和所述第二气泵与所述侧板固定连接，并分别与所述第一通孔和所述第二通孔连通，所述支撑台与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的一侧，所述转动电机与所述支撑台固定连接，并位于所述支撑台的一侧，所述传动器与所述转动电机的输出轴固定连接，并位于所述滑道的一侧，所述转杆与所述传动器啮合，并位于所述滑道的一侧，所述密封板与所述连接板固定连接，并接触所述气缸壳。

2.如权利要求1所述的一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于，

所述传动器包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮，所述第一齿轮与所述转动电机的输出轴固定连接，并位于所述转动电机的一侧，所述第二齿轮和所述第三齿轮与所述支撑台转动连接，并位于所述支撑台的一侧，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合，所述第三齿轮与所述第二齿轮和所述转杆啮合。

3.如权利要求1所述的一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于，

所述花篮包括多个隔片和花篮本体，所述花篮本体具有第三通孔，多个所述隔片与所述花篮本体固定连接，并位于所述第三通孔内。

4.如权利要求3所述的一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于，

所述花篮还包括两个支撑肩，两个支撑肩与所述花篮本体固定连接，并位于所述花篮本体的两侧，且与所述滑道滑动连接。

5.如权利要求1所述的一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于，

所述支撑组件还包括输送线，所述输送线设置在所述底座的一侧。

6.如权利要求5所述的一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于，

所述支撑组件还包括光电传感器，所述光电传感器与所述支架固定连接，并位于所述滑道的一侧。

7.一种去应力腐蚀机的芯片旋转设备，包括如权利要求1-6任意一项所述的一种去应力腐蚀机的芯片旋转装置，其特征在于，

还包括腐蚀组件，所述腐蚀组件包括支撑臂、腐蚀喷头、清洗喷头和底盒，所述支撑臂与所述支架固定连接，并位于所述支架的一侧，所述腐蚀喷头和所述清洗喷头与所述支撑臂固定连接，并位于所述支撑臂的一侧，所述底盒与所述底座固定连接，并位于所述底座远离所述支架的一侧。

8.如权利要求7所述的一种去应力腐蚀机的芯片旋转设备，其特征在于，

所述支撑臂包括臂体和滑动杆，所述臂体与所述支架固定连接，并位于所述支架的一侧，所述滑动杆与所述臂体滑动连接，并位于所述臂体的一侧，所述腐蚀喷头和所述清洗喷头设置在所述滑动杆上。