[发明专利]芯片转移机械手

说明书

一种芯片转移机械手，包括：竖直的机械手柱；第一机械手杆，所述第一机械手杆的第一端与所述机械手柱连接，所述第一机械手杆的第二端设置有第一吸盘；第二机械手杆，所述第二机械手杆的第一端与所述机械手柱连接，所述第二机械手杆的第二端设置有第二吸盘；所述第一机械手杆与所述机械手柱的连接位置与所述第二机械手杆与所述机械手柱的连接位置之间具有高度差，以使得第一机械手杆与所述第二机械手杆在转动时不接触。本发明可以使得各个机械手杆可以独立取料放料，且不会在工作时相互碰撞，实现更加复杂的操作，占用较少的厂房面积，提高生产效率，以及降低成本。

技术领域

本发明涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种芯片转移机械手。

背景技术

诸多半导体工艺过程中都需要利用成品芯片传输装置来传送成品芯片。现有成品芯片传输装置均包括真空吸附机械手，其利用真空吸附的原理来吸附成品芯片以将成品芯片传送至所需位置。

在一种具体应用场景中，可以在校准配测完芯片后，将芯片进行烘烤，然后进行正常测试。在此过程中，需要将芯片放置进烘烤托盘，再从烘烤托盘取回芯片转移至测试机等等。

在现有技术中，由于机械手功能单一，需要采用两台或两台以上的机械手设备对芯片进行转移，占用厂房面积较大，生产效率较低，成本较高。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种芯片转移机械手，可以使得各个机械手杆可以独立取料放料，且不会在工作时相互碰撞，实现更加复杂的操作，占用较少的厂房面积，提高生产效率，以及降低成本。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种芯片转移机械手，包括：竖直的机械手柱；第一机械手杆，所述第一机械手杆的第一端与所述机械手柱连接，所述第一机械手杆的第二端设置有第一吸盘；第二机械手杆，所述第二机械手杆的第一端与所述机械手柱连接，所述第二机械手杆的第二端设置有第二吸盘；所述第一机械手杆与所述机械手柱的连接位置与所述第二机械手杆与所述机械手柱的连接位置之间具有高度差，以使得第一机械手杆与所述第二机械手杆在转动时不接触。

可选的，所述机械手柱包括相互嵌套的机械内柱和机械外柱；其中，所述机械内柱和机械外柱能够相互转动，且沿所述机械手柱的轴线方向，所述机械内柱能够相对于所述机械外柱移动；所述第一机械手杆的第一端与所述机械内柱或机械外柱中的一个固定连接，所述第二机械手杆与所述机械内柱或机械外柱中的另一个固定连接。

可选的，所述机械外柱的一端位于预设的运行轨道上，且能够沿所述运行轨道移动；所述机械内柱被所述机械外柱带动沿所述运行轨道移动，且能够朝向远离所述运行轨道的方向相对于所述机械外柱移动。

可选的，所述运行轨道为一维轨道。

可选的，所述第一吸盘包含单个第一吸嘴，单个所述第一吸嘴在工作状态下用于转移单个芯片。

可选的，所述第一吸盘还包括：第一机械手吸圆盘，所述第一机械手吸圆盘耦接在所述第一机械手杆的第二端；第一机械手升降部件，所述第一机械手升降部件耦接在所述第一机械手吸圆盘内侧，且能够沿所述第一机械手吸圆盘的轴向方向移动；其中，所述第一吸嘴耦接于所述第一机械手升降部件。

可选的，所述第一吸嘴可拆卸地固定于所述第一机械手升降部件。

可选的，所述第二吸盘包含并列排布的多个第二吸嘴，多个所述第二吸嘴在工作状态下能够同时转移多个芯片。

可选的，所述第二吸盘还包括：第二机械手吸圆盘，所述第二机械手吸圆盘耦接在所述第二机械手杆的第二端；第二机械手升降部件，所述第二机械手升降部件耦接在所述第二机械手吸圆盘内侧，且能够沿所述第二机械手吸圆盘的轴向方向移动；其中，所述第二吸嘴耦接于所述第二机械手升降部件。

可选的，所述第二吸嘴可拆卸地固定于所述第二机械手升降部件。

与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下有益效果：