[发明专利]半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备

说明书

本发明公开一种半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备，所述传输腔室的上盖板(200)上开设有安装孔(210)，所述安装孔(210)中密封设置有观察窗组件(100)，所述观察窗组件(100)包括基座(110)、透明件(120)和压环(130)；所述安装孔中设置有承载台(220)，所述基座(110)呈环形，设置在所述承载台(220)上，并与所述承载台(220)连接；所述压环(130)与所述基座(110)连接，所述透明件(120)夹持于所述基座(110)与所述压环(130)之间。上述方案能够解决观察窗组件安装或者拆卸过程中容易损坏的问题。

技术领域

本发明涉及半导体芯片制造技术领域，尤其涉及一种半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备。

背景技术

半导体工艺设备的传输腔室上设置有观察窗组件，操作人员可以通过观察窗组件观察半导体工艺设备内晶圆的位置以及机械手传输晶圆的路径，从而可以对机械手的传输路径进行校准，进而提高晶圆的传片的精度。

相关技术中，观察窗组件包括透明件和压环。在安装观察窗组件时，首先将透明件放置于传输腔室上，且覆盖传输腔室上开设有的通孔，然后螺栓穿过压环与传输腔室的腔室本体相连接，螺栓为压环提供预压力，从而压紧透明件，进而实现观察窗组件在半导体工艺设备上的安装。

然而，此种结构的观察窗组件在安装或者拆卸的过程中，容易造成透明件掉落，进而容易造成观察窗组件损坏。

发明内容

本发明公开一种半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备，以解决观察窗组件安装或者拆卸过程中容易损坏的问题。

为了解决上述问题，本发明采用下述技术方案：

一种半导体工艺设备中的传输腔室，其特征在于，所述传输腔室的上盖板上开设有安装孔，所述安装孔中密封设置有观察窗组件，所述观察窗组件包括基座、透明件和压环；

所述安装孔中设置有承载台，所述基座呈环形，设置在所述承载台上，并与所述承载台连接；

所述压环与所述基座连接，所述透明件夹持于所述基座与所述压环之间。

一种半导体工艺设备，包括上述的传输腔室。

本发明采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本发明公开的传输腔室中，观察窗组件包括基座、透明件和压环，透明件夹持于基座与压环之间，压环与基座相连接。此方案中，压环和基座将透明件夹持，观察窗组件在安装或者拆卸时，压环、透明件和基座一体拆卸或者安装，压环与基座将透明件夹持住，从而能够防止透明件掉落，同时，压环与基座还能够对透明件进行防护，防止在安装的过程中，透明件与其他结构发生碰撞，进而使得观察窗组件不容易损坏。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例公开的传输腔室中观察窗组件的爆炸图；

图2为本发明实施例公开的传输腔室中观察窗组件的基座的仰视图；

图3为本发明实施例公开的传输腔室中观察窗组件的基座的侧视图；

图4为本发明实施例公开的传输腔室中观察窗组件的局部剖视图；

图5为本发明实施例公开的传输腔室中观察窗组件的把手的结构示意图；

图6为本发明实施例公开的传输腔室的俯视图；

图7为本发明实施例公开的传输腔室的爆炸图；

图8为本发明实施例公开的传输腔室的局部放大图；