[发明专利]分离装置和分离方法在审
申请号: | 202080048704.X | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN114072899A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 中野征二;山胁阳平;川口义广 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分离 装置 方法 | ||
1.一种分离装置,将处理对象体分离为第一分离体和第二分离体,所述分离装置具有:
第一保持部,其保持所述第一分离体;
第二保持部,其保持所述第二分离体;
移动部,其使所述第一保持部和所述第二保持部相对地移动;以及
转动部,其至少使所述第一分离体或所述第二分离体转动,以使所述第一分离体的分离面朝向上方且所述第二分离体的分离面朝向上方。
2.根据权利要求1所述的分离装置,其特征在于,
在将所述处理对象体分离之前,所述第二保持部在所述第一保持部的上方与所述第一保持部相向地配置,
所述转动部具有:
搬送部,其保持所述第二分离体的与分离面相反一侧的面,并使该第二分离体翻转;以及
交接部,其从所述第二保持部向所述搬送部交接所述第二分离体。
3.根据权利要求2所述的分离装置,其特征在于,
还具有第一支承构件,所述第一支承构件以贯通所述第一保持部的方式设置,用于支承被保持于该第一保持部的所述第一分离体。
4.根据权利要求2或3所述的分离装置,其特征在于,
所述搬送部保持所述第二分离体的中央部,并向被设置于所述分离装置的外部的搬送装置交接所述第二分离体。
5.根据权利要求1所述的分离装置,其特征在于,
在将所述处理对象体分离之前,所述第二保持部在所述第一保持部的上方与所述第一保持部相向地配置,
所述转动部使保持所述第二分离体的所述第二保持部翻转180度。
6.根据权利要求5所述的分离装置,其特征在于,还具有:
第一支承构件,其以贯通所述第一保持部的方式设置,用于支承被保持于该第一保持部的所述第一分离体;以及
第一支承构件,其以贯通通过所述转动部翻转后的所述第二保持部的方式设置,用于支承被保持于该第二保持部的所述第二分离体。
7.根据权利要求5所述的分离装置,其特征在于,还具有:
第一支承构件,其以贯通所述第一保持部的方式设置,用于支承被保持于该第一保持部的所述第一分离体;以及
第二支承构件,其以贯通所述第二保持部的方式设置,用于支承被保持于该第二保持部的所述第二分离体,
所述转动部使所述第二保持部和所述第二支承构件一体地翻转。
8.根据权利要求1所述的分离装置,其特征在于,
在将所述处理对象体分离之前,所述第一保持部和所述第二保持部在水平方向上相向地配置,
所述转动部使保持所述第一分离体的所述第一保持部和保持所述第二分离体的所述第二保持部分别转动90度。
9.根据权利要求8所述的分离装置,其特征在于,还具有:
第一支承构件,其以贯通所述第一保持部的方式设置,用于支承被保持于该第一保持部的所述第一分离体;以及
第二支承构件,其以贯通所述第二保持部的方式设置,用于支承被保持于该第二保持部的所述第二分离体,
所述转动部使所述第一保持部和所述第一支承构件一体地转动,并使所述第二保持部和所述第二支承构件一体地转动。
10.根据权利要求1至9中的任一项所述的分离装置,其特征在于,
还具有插入部,向被保持于所述第一保持部和所述第二保持部的所述处理对象体插入所述插入部。
11.一种分离方法,用于将处理对象体分离为第一分离体和第二分离体,所述分离方法包括:
使被保持于第一保持部的所述第一分离体与被保持于第二保持部的所述第二分离体相对地移动来进行分离;以及
通过转动部至少使所述第一分离体或所述第二分离体转动,以使所述第一分离体的分离面朝向上方且所述第二分离体的分离面朝向上方。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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