[实用新型]一种便于清理的半导体镀膜设备有效
| 申请号： | 202023293486.2 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214244590U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 黄鑫 | 申请（专利权）人： | 成都友臻科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 刘艳均 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 便于 清理 半导体 镀膜 设备 | ||
1.一种便于清理的半导体镀膜设备，包括设备外壳(1)、控制面板(3)、卡块(4)和蒸发锅(6)，其特征在于：所述设备外壳(1)内部的一侧固定连接有滑杆(102)，且滑杆(102)的外部活动连接有滑套(101)，所述设备外壳(1)的顶端设置有顶盖(103)，且设备外壳(1)内部的底端固定连接有蒸发锅(6)，所述设备外壳(1)内部的一侧活动连接有卡块(4)，且卡块(4)的一侧固定连接有螺旋套(401)，所述卡块(4)的底端固定连接有空心块(5)，且空心块(5)内部的一侧固定连接有弹簧(505)，所述卡块(4)的一侧活动连接有活动板(2)，所述设备外壳(1)外部一侧的顶端安装有控制面板(3)。
2.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述设备外壳(1)内部的另一侧活动连接有螺旋杆(104)，且螺旋杆(104)的底端安装有电机(105)。
3.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述活动板(2)的两侧皆固定连接有插块(201)，且插块(201)内部的一侧设置有插孔(202)。
4.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述卡块(4)外部的两侧皆固定连接有固定螺母(402)，且固定螺母(402)的内部活动连接有限位螺栓(403)。
5.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述弹簧(505)的一侧滑动连接有滑动块(504)，且滑动块(504)的顶端固定连接有拉杆(501)，所述滑动块(504)的一侧固定连接有支杆(502)，且支杆(502)的一侧固定连接有限位板(503)。
6.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述蒸发锅(6)内部顶端的中间位置设置有放置槽(601)，且蒸发锅(6)内部的底端安装有加热管(602)。
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