[实用新型]加热腔结构和硅片处理设备

权利要求书

1.一种加热腔结构(1)，其特征在于，包括：

加热腔体(11)，用于提供真空环境，所述加热腔体(11)的侧壁(111)上设有通孔(1121)；

隔离套管(12)，由所述通孔(1121)伸入所述加热腔体(11)内，所述隔离套管(12)的至少一端位于所述加热腔体(11)外；

加热器(13)，所述加热器(13)的发热部分设于所述隔离套管(12)内，所述加热器(13)的引线端由所述隔离套管(12)位于所述加热腔体(11)外的一端伸出；

连接组件(14)，用于固定所述隔离套管(12)和所述加热器(13)；

其中，所述隔离套管(12)与所述连接组件(14)使所述加热腔体(11)的内部与所述加热器(13)以及外部大气隔离。

2.根据权利要求1所述的加热腔结构(1)，其特征在于，所述连接组件(14)包括：

法兰盘(141)，设于所述通孔(1121)处，并与所述加热腔体(11)的侧壁(111)连接，所述法兰盘(141)套设于所述隔离套管(12)上，所述法兰盘(141)的内侧壁(111)上设有密封结构，以对所述通孔(1121)进行密封；

第一支架(142)，设于所述隔离套管(12)位于所述加热腔体(11)外的一端，所述第一支架(142)分别与所述隔离套管(12)和所述加热器(13)连接，以对所述隔离套管(12)和所述加热器(13)进行定位，并使所述加热器(13)与所述隔离套管(12)之间保持非接触状态。

3.根据权利要求2所述的加热腔结构(1)，其特征在于，所述第一支架(142)包括：

第一管夹(1421)，包括第一夹持部(1422)和第一调整部(1423)，所述第一夹持部(1422)套设于所述隔离套管(12)上，所述第一调整部(1423)用于调整所述第一夹持部(1422)的尺寸大小，以使所述第一夹持部(1422)夹紧所述隔离套管(12)；

第二管夹(1431)，包括第二夹持部(1432)和第二调整部(1433)，所述第二夹持部(1432)套设于所述加热器(13)上，所述第二调整部(1433)用于调整所述第二夹持部(1432)的尺寸大小，以使所述第二夹持部(1432)夹紧所述加热器(13)；

连接板(1441)，分别与所述第一夹持部(1422)的底部和所述第二夹持部(1432)的底部固定连接，以对所述第一夹持部(1422)和所述第二夹持部(1432)进行定位。

4.根据权利要求3所述的加热腔结构(1)，其特征在于，

所述第一夹持部(1422)包括两个相对设置的第一弧形板(1424)和一个第一槽形结构(1425)，所述第一调整部(1423)包括第一锁紧螺栓(1426)，所述第一槽形结构(1425)设于两个所述第一弧形板(1424)的底部，且所述第一槽形结构(1425)的两个侧板分别与两个所述第一弧形板(1424)连接，所述第一锁紧螺栓(1426)穿过所述第一槽形结构(1425)的两个侧板，用于调整两个所述第一弧形板(1424)之间的间距，以使两个所述第一弧形板(1424)夹紧所述隔离套管(12)；

所述第二夹持部(1432)包括两个相对设置的第二弧形板(1434)和一个第二槽形结构(1435)，所述第二调整部(1433)包括第二锁紧螺栓(1436)，所述第二槽形结构(1435)设于两个所述第二弧形板(1434)的底部，且所述第二槽形结构(1435)的两个侧板分别与两个所述第二弧形板(1434)连接，所述第二锁紧螺栓(1436)穿过所述第二槽形结构(1435)的两个侧板，用于调整两个所述第二弧形板(1434)之间的间距，以使两个所述第二弧形板(1434)夹紧所述加热器(13)；

所述连接板(1441)通过固定螺栓(1442)分别与所述第一槽形结构(1425)的底板以及所述第二槽形结构(1435)的底板固定连接。