[实用新型]一种MEMS麦克风和测温的组合传感器

权利要求书

1.一种MEMS麦克风和测温传感器的组合传感器，其特征在于：包括PCB基材(1)，所述PCB基材(1)上设置有阻容(4)、NTC(3)、MEMS热电堆(2)、ADC(5)、麦克风MEMSsensor(8)和ASIC(9)，所述PCB基材(1)外套设有管壳(6)，所述管壳(6)上开设有光窗和进音孔(11)，所述管壳(6)上设置有封闭光窗的滤光片(7)，所述PCB基材(1)设置有环绕电子元器件的环形焊盘(10)，所述PCB基材(1)上的电子元器件通过金线与环形焊盘(10)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风和测温传感器的组合传感器，其特征在于：所述麦克风MEMSsensor(8)内包含有MEMS微电容传感器、微集成转换电路、声腔和RF抗干扰电路，所述MEMS微电容传感器包括硅振膜和硅背极，所述硅振膜用于接收音频信号。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风和测温传感器的组合传感器，其特征在于：所述进音孔(11)通过防水透声膜封闭。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS麦克风和测温传感器的组合传感器，其特征在于：所述ADC(5)内包含有参考电压输出、多路转换器、4-64X可编程运算放大器、24位数模转换、数字滤波器和DSP，所述ADC(5)支持12C和SPI接口。

5.根据权利要求4所述的一种MEMS麦克风和测温传感器的组合传感器，其特征在于：所述NTC(3)电阻和MEMS热电堆(2)通过银胶固定在PCB基材(1)上，所述麦克风MEMSsensor(8)和ADC(5)通过硅胶固定在PCB基材(1)上，所述ASIC(9)和ADC(5)通过stack die方式堆叠在PCB基材(1)上。