[实用新型]一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜

说明书

本实用新型公开了一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体，箱体右侧的中端固定安装有伺服电机，伺服电机的输出端贯穿箱体右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆，且螺纹杆的左侧活动连接于箱体内腔左侧的中端，箱体上下两端的内表面均开设有滑槽，滑槽内腔的右端均滑动连接有滑块，滑块的内侧固定连接有活动板，活动板上下两端的内表面均开设有滑孔，活动板中端的内表面开设有螺纹槽，螺纹杆右端的外表面螺纹连接于螺纹槽的内腔。本实用新型设置了滑槽、螺纹杆、滑块和滑杆，达到了稳定的目的，解决了现有的相干探测显微镜不具备稳定性好的功能，导致满足不了人们使用需求的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜。

背景技术

半导体器件生产中，为了确保产品性能合格、稳定可靠，并有高的成品率，根据各种产品的生产情况，对所有工艺步骤都要有严格的具体要求，其中涉及到相干探测显微镜，而现有的相干探测显微镜不具备稳定性好的功能，导致满足不了人们的使用需求，为此，我们提出一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体，所述箱体右侧的中端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿箱体右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆，且螺纹杆的左侧活动连接于箱体内腔左侧的中端，所述箱体上下两端的内表面均开设有滑槽，所述滑槽内腔的右端均滑动连接有滑块，所述滑块的内侧固定连接有活动板，所述活动板上下两端的内表面均开设有滑孔，所述活动板中端的内表面开设有螺纹槽，所述螺纹杆右端的外表面螺纹连接于螺纹槽的内腔，所述箱体内腔的上下两端均固定连接有滑杆，所述滑杆右端的外表面滑动连接于滑孔的内腔。

优选的，所述滑块的顶部固定连接有底座，所述底座的顶部设置有支架。

优选的，所述支架左侧的上端设置有镜筒，所述镜筒的右下端设置有调节螺丝，所述支架左侧的下端固定连接有放置架。

优选的，所述镜筒的顶部设置有目镜，所述镜筒的底部设置有物镜。

优选的，所述箱体底部的四周均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部均设置有防滑垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型设置了滑槽、螺纹杆、滑块和滑杆，通过外置控制器开启伺服电机工作，伺服电机带动螺纹杆转动，螺纹杆通过螺纹槽带动活动板左右移动，活动板通过滑孔在滑杆的外表面左右滑动，稳定活动板的左右运动，活动板带动滑块在滑槽的内腔左右运动，滑块带动底座平稳的左右运动，达到了稳定的目的，解决了现有的相干探测显微镜不具备稳定性好的功能，导致满足不了人们使用需求的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型箱体剖视结构示意图；

图3为本实用新型活动板剖视结构示意图。

图中：1、箱体；2、支撑腿；3、放置架；4、物镜；5、镜筒；6、目镜；7、调节螺丝；8、支架；9、底座；10、伺服电机；11、螺纹槽；12、滑槽；13、螺纹杆；14、滑块；15、滑杆；16、活动板；17、滑孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。