[实用新型]一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜

权利要求书

1.一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）右侧的中端固定安装有伺服电机（10），所述伺服电机（10）的输出端贯穿箱体（1）右侧中端的内表面固定连接有螺纹杆（13），且螺纹杆（13）的左侧活动连接于箱体（1）内腔左侧的中端，所述箱体（1）上下两端的内表面均开设有滑槽（12），所述滑槽（12）内腔的右端均滑动连接有滑块（14），所述滑块（14）的内侧固定连接有活动板（16），所述活动板（16）上下两端的内表面均开设有滑孔（17），所述活动板（16）中端的内表面开设有螺纹槽（11），所述螺纹杆（13）右端的外表面螺纹连接于螺纹槽（11）的内腔，所述箱体（1）内腔的上下两端均固定连接有滑杆（15），所述滑杆（15）右端的外表面滑动连接于滑孔（17）的内腔。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，其特征在于：所述滑块（14）的顶部固定连接有底座（9），所述底座（9）的顶部设置有支架（8）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，其特征在于：所述支架（8）左侧的上端设置有镜筒（5），所述镜筒（5）的右下端设置有调节螺丝（7），所述支架（8）左侧的下端固定连接有放置架（3）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，其特征在于：所述镜筒（5）的顶部设置有目镜（6），所述镜筒（5）的底部设置有物镜（4）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用稳定性好的相干探测显微镜，其特征在于：所述箱体（1）底部的四周均固定连接有支撑腿（2），且支撑腿（2）的底部均设置有防滑垫。