[实用新型]一种无上电极水平电镀装置

说明书

本实用新型公开了一种无上电极水平电镀装置，包括若干个等高设置的电解质溶液槽，待电镀基片位于电解质溶液槽上面与且下表面与电解质溶液接触，待电镀基片下表面分为待电镀区域及非电镀区域，待电镀区域表面为导电材料，非电镀区域表面为不导电材料，待电镀基片下表面电相连有水平传输装置和阴极导电装置，水平传输装置和阴极导电装置与电解质溶液槽间隔设置，水平传输装置带动待电镀基片水平运动，电解质溶液内设置有金属阳极，阴极导电装置与金属阳极分别与外置偏压电源的负极和正极相连。本实用新型提供的一种无上电极水平电镀装置，能够能够在待电镀基片表面形成均匀性好、可靠性高的金属沉积且不易造成待电镀基片或其表面损伤。

技术领域

本实用新型涉及一种无上电极水平电镀装置，属于太阳能电池及半导体技术领域。

背景技术

晶硅太阳能电池通常使用金属作为电极用以输出电池在工作时产生的电荷载流子。因此金属化是太阳能电池制造中的一个重要的工艺步骤。丝网印刷金属浆料再经过高温烧结形成金属电极是目前应用最广泛的晶硅太阳能电池金属化方法。该方法工艺简单，早已实现大规模量产。近年来，硅片和电池工艺不断发展，太阳能电池生产成本不断下跌。而目前主流的金属化方法依然是通过丝网印刷银浆料作为太阳能电池的正面电极甚至是双面电极，其中昂贵的银浆料在金属化过程中产生的成本在整个电池成本中占有的比例不断上升。

为了进一步降低太阳能电池成本，使用电镀法制作太阳能电池的金属电极的量产可能性也一直在被探寻。此方法可使用更为便宜的镍，铜等金属部分或者全部替代银来实现成本降低。然而，以往提出的挂镀、垂直电镀等方法存在着金属沉积不均匀、良率低、量产效率低等问题。而过去公开的水平电镀方法虽然更适合使用在大规模生产中，但也有着工艺控制难度高、电镀均匀性差等缺点，并且上电极施加在待电镀电池片上的压力往往难以控制，易造成表面损伤或电池损坏。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，提供一种能够能够在待电镀基片表面形成均匀性好、可靠性高的金属沉积且不易造成待电镀基片或其表面损伤的无上电极水平电镀装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种无上电极水平电镀装置，包括若干个等高设置的电解质溶液槽，所述电解质溶液槽里盛有电解质溶液，所述电解质溶液槽下方连通有输液管道，所述电解质溶液槽下方设置有排液槽，待电镀基片位于所述电解质溶液槽上面与且下表面与所述电解质溶液接触，所述待电镀基片下表面分为待电镀区域及非电镀区域，所述待电镀区域表面为导电材料，所述非电镀区域表面为不导电材料，所述待电镀基片下表面电相连有水平传输装置和阴极导电装置，所述水平传输装置和阴极导电装置与所述电解质溶液槽间隔设置，所述水平传输装置带动所述待电镀基片水平运动，所述电解质溶液内设置有金属阳极，所述阴极导电装置与金属阳极分别与外置偏压电源的负极和正极相连。

滚轮同时作为所述水平传输装置以及阴极导电装置，所述滚轮通过所述待电镀基片经过所述电解质溶液槽时带出的所述电解质溶液与所述待电镀区域进行电学接触。

滚轮同时作为所述水平传输装置以及阴极导电装置，所述滚轮下方设置有第二电解质溶液槽，使得所述滚轮在滚动时带出所述第二电解质溶液槽中的第二电解质溶液，并通过所述第二电解质溶液与所述待电镀区域进行电学接触。

所述滚轮上设置有多个凸起，所述凸起与所述待电镀区域进行电学接触。

所述水平传输装置为传送带。

所述阴极导电装置为导电刷或导电毛辊。

所述导电刷与所述待电镀基片接触的末端经过打磨或者为U型末端。

所述待电镀基片上方设置有喷淋装置，所述喷淋装置把水喷到所述待电镀基片上表面，以调节所述待电镀基片与所述阴极导电装置的接触压力。