[实用新型]一种无上电极水平电镀装置

权利要求书

1.一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：包括若干个等高设置的电解质溶液槽，所述电解质溶液槽里盛有电解质溶液，所述电解质溶液槽下方连通有输液管道，所述电解质溶液槽下方设置有排液槽，待电镀基片位于所述电解质溶液槽上面与且下表面与所述电解质溶液接触，所述待电镀基片下表面分为待电镀区域及非电镀区域，所述待电镀区域表面为导电材料，所述非电镀区域表面为不导电材料，所述待电镀基片下表面电相连有水平传输装置和阴极导电装置，所述水平传输装置和阴极导电装置与所述电解质溶液槽间隔设置，所述水平传输装置带动所述待电镀基片水平运动，所述电解质溶液内设置有金属阳极，所述阴极导电装置与金属阳极分别与外置偏压电源的负极和正极相连。

2.根据权利要求1所述的一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：滚轮同时作为所述水平传输装置以及阴极导电装置，所述滚轮通过所述待电镀基片经过所述电解质溶液槽时带出的所述电解质溶液与所述待电镀区域进行电学接触。

3.根据权利要求1所述的一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：滚轮同时作为所述水平传输装置以及阴极导电装置，所述滚轮下方设置有第二电解质溶液槽，使得所述滚轮在滚动时带出所述第二电解质溶液槽中的第二电解质溶液，并通过所述第二电解质溶液与所述待电镀区域进行电学接触。

4.根据权利要求2或者3所述的一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：所述滚轮上设置有多个凸起，所述凸起与所述待电镀区域进行电学接触。

5.根据权利要求1所述的一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：所述水平传输装置为传送带。

6.根据权利要求1所述的一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：所述阴极导电装置为导电刷或导电毛辊。

7.根据权利要求6所述的一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：所述导电刷与所述待电镀基片接触的末端经过打磨或者为U型末端。

8.根据权利要求1所述的一种无上电极水平电镀装置，其特征在于：所述待电镀基片上方设置有喷淋装置，所述喷淋装置把水喷到所述待电镀基片上表面，以调节所述待电镀基片与所述阴极导电装置的接触压力。