[实用新型]供搬运板体或盒体的机械手臂暨板体或箱体的储存机构

说明书

本实用新型是关于一种可供搬运板体或盒体的机械手臂暨板体或箱体的储存机构，主要是跳脱长久以来搬运盒体或板体的机械手臂是以水平面方向转动为主的刻板观念，改以垂直向转动的方式来达成，如此一来可有效利用盒体或板体存放时相邻进的板体或盒体之间所存在的间距，利用所述间距作为机械手臂转动时所需转动空间，以令所述机械手臂深入所述间距将物品取出；因此，利用本实用新型的储存机构可有效利用内部空间，使得整体体积得以大幅缩小，进而提高厂房的空间利用率。

技术领域

本实用新型是关于一种机械手臂，尤指一种可供搬运板体或盒体的机械手臂。本实用新型更提出一种储存机构，尤指一种板体或箱体的储存机构，由于以上两项创作于一个总的发明构思，具备单一性，可以作为一件申请提出。

背景技术

按，晶圆的制作、处理等过程中，会因其制程需求而需在各制程区之间或是各机台之间移动，又或者因生产线的突发状况而需暂停制作流程等，为因应这些状况，需要一储存机构(亦可称作仓储机构、stocker)来暂时存放晶圆，或是作为晶圆转运等功能。

请参阅中国台湾专利申请号107109352「储存器」，所述专利是公开有：一种用于存放多个晶圆载体的储存器包含框架、多个匣挡止件、多个椼架部件和多个分隔件，所述框架包含多个存储单元，多个存储单元中的每一个包含用于承载多个晶圆载体中的一个的承载板，匣挡止件竖立在多个承载板中的每一个的边缘上，多个椼架部件跨越多个存储单元中的至少一个的至少一个侧表面而对角地设置，其中多个椼架部件中的每一个包括减震器，多个分隔件设置在多个存储单元的侧表面上且固定到框架。

所述专利虽有着上述的优点，然，请参阅所述专利图5所示，标号30下半部是呈现出一机械手臂，所述机械手臂是于水平面方向进行转动，以搬运所述储存器内所存放的晶圆，也因此，所述机械手臂于转动时，所述储存器内需额外增加空间，以供所述机械手臂转动时所需的转动空间，这将造成所述储存器体积庞大而不利于厂房的空间运用。此外，此种水平面方向转动过程中，容易受离心力影响造成晶圆掉落，为此，认为此种储存器实有改善的必要。

实用新型内容

有鉴于背景技术所述不足的地方，本实用新型提出一种可供搬运板体或盒体的机械手臂，包括：

一座体：

所述座体可供与一输送机构形成动力连接，且所述座体的顶面位于一假想水平面。

一第一支臂：

所述第一支臂具有二相反的第一端及第二端，所述第一端枢设于所述座体顶面，所述第一支臂以第一端为轴枢转时形成一第一假想平面，且所述第一假想平面垂直所述假想水平面。

一第二支臂：

所述第二支臂具有二相反的第三端及第四端，所述第三端枢设于所述第二端，且所述第二支臂以所述第三端为轴转动时形成一第二假想平面，所述第二假想平面平行所述第一假想平面。

一承接板：

所述承接板枢设于所述第四端，且所述承接板垂直所述第二假想平面，所述承接板用以承接板体或盒体。

一控制单元：

所述控制单元分别信号连接所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板，所述控制单元可供控制所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板进行转动，以令所述第一支臂与所述第二支臂转动至转动路径始端或末端时，所述承接板平行所述假想水平面。

所述板体或箱体的储存机构，其中，所述承接板的顶面铺设一止滑单元。