[发明专利]一种倒片机的转移攒颗设备

说明书

本发明公开了一种倒片机的转移攒颗设备，包括固定架、攒颗机本体和工作台，所述固定架内部固定安装攒颗机本体，所述固定架底壁上表面固定安装工作台，所述工作台上表面固定安装有滑移机构，所述滑移机构包括底板,所述底板上表面两端固定连接挡板，所述挡板内侧固定连接滑杆两端，所述滑杆周侧滑动连接穿过活动台内部，所述挡板内侧固定连接气动伸缩杆一端，所述气动伸缩杆另一端固定插入活动台内部，所述挡板一侧设置第一气管，所述第一气管连通气动伸缩杆，所述挡板一侧固定安装有限位滑轨，所述限位滑轨滑动连接限位滑块，通过卡板上的吸附孔对硅片进行吸附抓取，避免手动抓取，减少对硅片发生的蹭伤。

技术领域

本发明涉及倒片机技术领域，具体为一种倒片机的转移攒颗设备。

背景技术

伴随集成电路制造工艺的不断进步，硅片的体积越来越小，这也导致了非常微小的颗粒也变得足以影响硅片的制造和性能；

现有的倒片器是手动倒片，把硅片翻转180°进行攒颗，在倒篮过程中会发生蹭伤，为了提高自动化程度，提高工作效率,减少倒片器转移攒颗过程中出现的蹭伤。

为此我们提出一种倒片机的转移攒颗设备用于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种倒片机的转移攒颗设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种倒片机的转移攒颗设备，包括固定架、攒颗机本体和工作台，所述固定架内部固定安装攒颗机本体，所述固定架底壁上表面固定安装工作台，所述工作台上表面固定安装有滑移机构，所述滑移机构包括底板,所述底板上表面两端固定连接挡板，所述挡板内侧固定连接滑杆两端，所述滑杆周侧滑动连接穿过活动台内部，所述挡板内侧固定连接气动伸缩杆一端，所述气动伸缩杆另一端固定插入活动台内部，所述挡板一侧设置第一气管，所述第一气管连通气动伸缩杆，所述挡板一侧固定安装有限位滑轨，所述限位滑轨滑动连接限位滑块，所述限位滑块顶端固定连接活动台，所述活动台上设置有安装孔，所述滑移机构共有三组，分别是第一滑移机构、第二滑移机构和第三滑移机构，所述第一滑移机构上的底板固定连接工作台上表面，所述第二滑移机构中的底板固定连接第一滑移机构中的活动台上表面，所述第三滑移机构中一侧侧板固定连接第二滑移机构中的活动台上表面，所述第三滑移机构中的活动台固定连接翻转机构一侧，所述翻转机构另一侧固定连接取片机构。

优选的，所述翻转机构，包括机体，所述机体固定安装在第三滑移机构中的活动台上，所述机体内侧底壁固定安装电动机，所述电动机输出轴固定连接主动齿轮轴心，所述主动齿轮啮合连接从动齿轮，所述从动齿轮轴心固定安装在转轴周侧，所述转轴一端转动连接的插入套筒，所述套筒底端固定连接机体侧壁，所述转轴另一端固定连接转台一端，所述转台周侧转动连接的穿过机体另一侧壁，所述转台另一端固定连接固定座，所述固定座固定安装取片机构。

优选的，所述取片机构包括底座，所述底座固定安装在固定座上，所述底座一侧设置有第二气管，所述底座固定安装有若干卡板，所述卡板上设置有两个吸附孔，且第二气管连通吸附孔。

优选的，所述第一滑移机构和第二滑移机构相互垂直，所述第三滑移机构竖直垂直于第二滑移机构。

优选的，所述转台周侧固定安装有限位环，且限位环间隙配合的转动连接机体侧壁。

优选的，所述卡板前侧设置有向前延伸的两个分支板。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过卡板上的吸附孔对硅片进行吸附抓取，避免手动抓取，减少对硅片发生的蹭伤，通过翻转机构能够对抓取后的硅片，进翻转180°进行攒颗，通过三组滑移机构，能够进行横向、纵向和垂直方向的移动，能够在三个方向上对翻转机构取片机构进行定位，使用灵活，有利于提高工作效率。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明中滑移机构结构示意图；