[发明专利]一种倒片机的转移攒颗设备在审

专利信息
申请号: 202011434461.1 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN112490177A 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 邢子淳;孙晨光;王彦君;陈健华 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/677
代理公司: 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 代理人: 段宇
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 倒片机 转移 设备
【权利要求书】:

1.一种倒片机的转移攒颗设备,包括固定架(6)、攒颗机本体(7)和工作台(1),其特征在于:所述固定架(6)内部固定安装攒颗机本体(7),所述固定架(6)底壁上表面固定安装工作台(1),所述工作台(1)上表面固定安装有滑移机构(2),所述滑移机构(2)包括底板(28),所述底板(28)上表面两端固定连接挡板(21),所述挡板(21)内侧固定连接滑杆(25)两端,所述滑杆(25)周侧滑动连接穿过活动台(26)内部,所述挡板(21)内侧固定连接气动伸缩杆(24)一端,所述气动伸缩杆(24)另一端固定插入活动台(26)内部,所述挡板(21)一侧设置第一气管(27),所述第一气管(27)连通气动伸缩杆(24),所述挡板(21)一侧固定安装有限位滑轨(23),所述限位滑轨(23)滑动连接限位滑块(22),所述限位滑块(22)顶端固定连接活动台(26),所述活动台(26)上设置有安装孔(261),所述滑移机构(2)共有三组,分别是第一滑移机构(3)、第二滑移机构(4)和第三滑移机构(5),所述第一滑移机构(3)上的底板(28)固定连接工作台(1)上表面,所述第二滑移机构(4)中的底板(28)固定连接第一滑移机构(3)中的活动台(26)上表面,所述第三滑移机构(5)中一侧侧板固定连接第二滑移机构(4)中的活动台(26)上表面,所述第三滑移机构(5)中的活动台(26)固定连接翻转机构(8)一侧,所述翻转机构(8)另一侧固定连接取片机构(9)。

2.根据权利要求1所述的一种倒片机的转移攒颗设备,其特征在于:所述翻转机构(8),包括机体(81),所述机体(81)固定安装在第三滑移机构(5)中的活动台(26)上,所述机体(81)内侧底壁固定安装电动机(83),所述电动机(83)输出轴固定连接主动齿轮(84)轴心,所述主动齿轮(84)啮合连接从动齿轮(86),所述从动齿轮(86)轴心固定安装在转轴(85)周侧,所述转轴(85)一端转动连接的插入套筒(82),所述套筒(82)底端固定连接机体(81)侧壁,所述转轴(85)另一端固定连接转台(87)一端,所述转台(87)周侧转动连接的穿过机体(81)另一侧壁,所述转台(87)另一端固定连接固定座(89),所述固定座(89)固定安装取片机构(9)。

3.根据权利要求1所述的一种倒片机的转移攒颗设备,其特征在于:所述取片机构(9)包括底座(91),所述底座(91)固定安装在固定座(89)上,所述底座(91)一侧设置有第二气管(92),所述底座(91)固定安装有若干卡板(93),所述卡板(93)上设置有两个吸附孔(94),且第二气管(92)连通吸附孔(94)。

4.根据权利要求1所述的一种倒片机的转移攒颗设备,其特征在于:所述第一滑移机构(3)和第二滑移机构(4)相互垂直,所述第三滑移机构(5)竖直垂直于第二滑移机构(4)。

5.根据权利要求2所述的一种倒片机的转移攒颗设备,其特征在于:所述转台(87周侧固定安装有限位环(88),且限位环(88)间隙配合的转动连接机体(81)侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种倒片机的转移攒颗设备,其特征在于:所述卡板(93)前侧设置有向前延伸的两个分支板。

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