[发明专利]一种用于光刻机的晶圆载台在审
| 申请号： | 202011388274.4 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112614805A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪;符友银;李俊毅 | 申请（专利权）人： | 北京新毅东科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 侯克邦 |
| 地址： | 100043 北京市石景*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 晶圆载台 | ||
1.一种用于光刻机的晶圆载台，其特征在于，包括晶圆载台本体（1），所述晶圆载台本体（1）的底部固定连接有承载柱（5），所述晶圆载台本体（1）的外侧固定连接有三个支撑板（2），所述支撑板（2）的一侧固定连接有限位柱（3），所述晶圆载台本体（1）的顶部设置有晶圆（4），所述晶圆（4）的正下方设置有光学传感器（6），所述光学传感器（6）的设置范围应在晶圆（4）的圆周范围内。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶圆载台，其特征在于，三个所述支撑板（2）沿晶圆载台本体（1）的圆心设置，且每个支撑板（2）之间夹角的度数为120°。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶圆载台，其特征在于，所述支撑板（2）的顶面与晶圆载台本体（1）的顶面平齐，所述支撑板（2）的厚度为晶圆载台本体（1）的厚度的二分之一。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶圆载台，其特征在于，所述晶圆载台本体（1）的内部设置有第一通孔（7），且第一通孔（7）的圆心和晶圆载台本体（1）的圆心为同一点，所述晶圆载台本体（1）内部设置有四个第二通孔（8），四个所述第二通孔（8）沿晶圆载台本体（1）的圆心为轴在360°范围内均匀设置。
5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶圆载台，其特征在于，所述晶圆载台本体（1）内部分别设置有第一间隙（9）和第二间隙（10）。
6.根据权利要求5所述的一种用于光刻机的晶圆载台，其特征在于，所述第一间隙（9）的圆心和第二间隙（10）的圆心为同一圆心，且均以晶圆载台本体（1）的圆心设置。
7.根据权利要求5所述的一种用于光刻机的晶圆载台，其特征在于，所述第一间隙（9）和第二间隙（10）均为环形，所述第一间隙（9）的半径大于第二间隙（10）的半径。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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