[发明专利]LTCC电路基板的制作方法有效
申请号: | 202011282405.0 | 申请日: | 2020-11-16 |
公开(公告)号: | CN112739006B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 赵燕;邓云凯;喻忠军;徐正;霍锐;张长凤;赵元沛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院空天信息创新研究院 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 孙蕾 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ltcc 路基 制作方法 | ||
本发明提供了一种LTCC电路基板的制作方法,包括:产品排版时设置产品外形处理的位置识别点;在位置识别点之外预留预设尺寸的工艺边,并在工艺边上设定热切对位点;按照热切对位点对生瓷坯实施切割,完成生瓷坯到单个电路的生瓷坯的转换;将单个电路的生瓷坯进行热压处理,并通过共烧工艺完成LTCC电路基板的共烧处理;根据LTCC电路基板外形处理工艺,完成每个电路基板的外形切割,实现LTCC电路基板的制作。
技术领域
本发明涉及LTCC基板领域,尤其涉及一种LTCC电路基板的制作方法。
背景技术
LTCC(低温共烧陶瓷)技术是一种高密度、多层布线的电路基板及封装技术,该技术利用机械或者激光打孔、钢网印刷填孔、丝网印刷导体、叠片、层压及烧结工艺,实现电路基板的制作。LTCC技术可以将无源元件形成于电路基板内部,并结合有源器件的表面贴装工艺,实现高密度、高集成度组件的制作,是未来电子器件集成化、模块化的首选方式。
LTCC基板的烧结过程是一个放热吸热反应的过程,在低温至450℃阶段,基板内有机成分挥发排出,高温的700℃-860℃阶段,基板内组分发生结晶和析晶反应,实现基板的牢固结合。而基板内部的金属浆料和陶瓷在烧结过程的热膨胀系数不同,因此烧结成型的LTCC基板会有一定的翘曲。但是在基板的后续组装过程中,其整体平整度会影响组装效果,特别地,基板的不平整会增加焊接空洞率,影响组件的接地特性。
现阶段,控制基板平整度的方法主要有两种,第一种是通过优化三维电路的布线布局设计,减少实心地层的布局面积,并适当增加基板厚度,同时优化层压参数、烧结曲线,将LTCC基板平整度控制在3μm/mm范围内。这种方法减少了实心地层的布局面积,一般适合于低频或者部分要求不高的高频电路基板的制作,增加基板厚度会增加生产成本。
第二种方法是通过去膜打孔再覆膜的方式,减少生瓷片背面通孔填充浆料的残余量,控制通孔的凸起高度,降低基板平整度。这种方法只能控制局部通孔处的平整度,对基板整体平整度的控制优势不大。
发明内容
针对上述现有技术的不足,为了能够得到更高的LTCC基板整体平整度,减小焊接空洞率,提高组件的接地特性,本发明提供了一种电路基板的制作方法。
为了实现上述目的,本发明提供了一种LTCC电路基板的制作方法,包括:产品排版时设置产品外形处理的位置识别点;在位置识别点之外预留预设尺寸的工艺边,并在工艺边上设定热切对位点;按照热切对位点对生瓷坯实施切割,完成生瓷坯到单个电路的生瓷坯的转换;将单个电路的生瓷坯进行热压处理,并通过共烧工艺完成LTCC电路基板的共烧处理;根据LTCC电路基板外形处理工艺,完成每个LTCC电路基板的外形切割,实现LTCC电路基板的制作。
根据本发明的实施例,其中,产品排版时设置产品外形处理的位置识别点包括:根据产品的尺寸和外形设置外形处理的位置识别点。
根据本发明的实施例,其中,预留预设尺寸为5~7mm。
根据本发明的实施例,其中,热压处理包括:将每个单个电路的生瓷坯放置于热板上,并在每个单个电路的生瓷坯上压上平整的板,静置预设时间。
根据本发明的实施例,其中,热板的预设温度为75~80℃,静置时间为30~60分钟。
根据本发明的实施例,其中,电路基板的平整度小于等于2μm/mm。
从上述技术方案可以看出,本发明提供的一种电路基板的制作方法具有以下有益效果:
本发明首先通过排版时预留工艺边的方式,减少烧结过程中金属浆料和陶瓷介质热膨胀系数不同带来的不匹配,降低基板的不平整度。同时,对热切后的生瓷坯进行热压处理,适当释放包封等静压过程在生瓷坯上形成的应力残留,减少了基板共烧过程中的翘曲。本发明的方法简单易行、成本低廉,适合于各种厚度和外形的LTCC基板制作。
附图说明
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