[发明专利]一种晶圆横向抓取移动机构

说明书

本发明公开一种晶圆横向抓取移动机构，包括固定底板，所述固定底板的顶面中部固定有竖直支撑板，竖直支撑板的前壁面上固定有直线电机，直线电机的滑动块上固定有连接块，连接块的底面上固定有横向水平板，横向水平板的顶面上固定有横向无杆气缸，横向无杆气缸的底部移动块插套在横向水平板的中部成型有的横向通槽中，底部移动块的底面伸出横向通槽并固定有连接板，连接板上安装有延伸连接板，延伸连接板的右端顶面固定有旋转伺服电机。本发明可以安装在晶圆的储存放置处于加工台处于同一直线上的设备中，其可以直接将储存放置处的晶圆抓取移动至加工台上，其抓取方便，效率高，而且制作成本低。

技术领域

本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆横向抓取移动机构。

背景技术

现有的晶圆在加工时其进行抓取一般采用抓取手吸附抓取，其一些加工步骤中，其需要将储存放置的晶圆抓取后直接移动至对应一侧的加工台上，而对应的一侧的加工台与此储存放置处均在同一直线的位置上，采用多轴机器人抓取放置，其反而操作麻烦，效率也并不高，成本高。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆横向抓取移动机构，它可以安装在晶圆的储存放置处于加工台处于同一直线上的设备中，其可以直接将储存放置处的晶圆抓取移动至加工台上，其抓取方便，效率高，而且制作成本低。

本发明的技术解决措施如下：

一种晶圆横向抓取移动机构，包括固定底板，所述固定底板的顶面中部固定有竖直支撑板，竖直支撑板的前壁面上固定有直线电机，直线电机的滑动块上固定有连接块，连接块的底面上固定有横向水平板，横向水平板的顶面上固定有横向无杆气缸，横向无杆气缸的底部移动块插套在横向水平板的中部成型有的横向通槽中，底部移动块的底面伸出横向通槽并固定有连接板，连接板上安装有延伸连接板，延伸连接板的右端顶面固定有旋转伺服电机，旋转伺服电机的输出轴穿过延伸连接板的底面并固定有下连接板，下连接板的底面固定有真空抓取手。

所述连接板的底面固定有导向块，横向水平板的底面的左部和右部均固定有竖直板，横向导向杆的两端固定在两个竖直板上，横向导向杆插套在导向块的中部贯穿通孔中。

所述中部贯穿通孔的内侧壁上固定有导向套，横向导向杆插套在导向套中。

所述真空抓取手包括左连接块和右抓取块，左连接块通过螺栓固定连接在下连接板的底面上，右抓取块的左端上部和下部均成型有连接部，左连接块的右端夹持在两个连接部之间并通过螺栓固定连接在两个连接部上。

所述右抓取块的右端成型有两个弧形吸附块，弧形吸附块的底面通接有多个吸盘。

所述横向通槽的左右两端壁面上均固定有弹性块，弹性块对着底部移动块的侧壁。

本发明的有益效果在于：其可以安装在晶圆的储存放置处于加工台处于同一直线上的设备中，其可以直接将储存放置处的晶圆抓取移动至加工台上，其抓取方便，效率高，而且制作成本低。

附图说明

图1为本发明与晶圆储存放置处之间的局部结构示意图；

图2为图1的局部放大图；

图3为真空抓取手的局部俯视图。

具体实施方式