[发明专利]一种晶圆横向抓取移动机构在审
| 申请号： | 202010853900.6 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112038272A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 罗永胜 | 申请（专利权）人： | 台州市老林装饰有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 王卫兵 |
| 地址： | 318050 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 横向 抓取 移动 机构 | ||
1.一种晶圆横向抓取移动机构，包括固定底板(10)，其特征在于：所述固定底板(10)的顶面中部固定有竖直支撑板(11)，竖直支撑板(11)的前壁面上固定有直线电机(12)，直线电机(12)的滑动块(121)上固定有连接块(13)，连接块(13)的底面上固定有横向水平板(14)，横向水平板(14)的顶面上固定有横向无杆气缸(15)，横向无杆气缸(15)的底部移动块(151)插套在横向水平板(14)的中部成型有的横向通槽(141)中，底部移动块(151)的底面伸出横向通槽(141)并固定有连接板(16)，连接板(16)上安装有延伸连接板(17)，延伸连接板(17)的右端顶面固定有旋转伺服电机(18)，旋转伺服电机(18)的输出轴穿过延伸连接板(17)的底面并固定有下连接板(19)，下连接板(19)的底面固定有真空抓取手(20)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆横向抓取移动机构，其特征在于：所述连接板(16)的底面固定有导向块(21)，横向水平板(14)的底面的左部和右部均固定有竖直板(22)，横向导向杆(23)的两端固定在两个竖直板(22)上，横向导向杆(23)插套在导向块(21)的中部贯穿通孔(211)中。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆横向抓取移动机构，其特征在于：所述中部贯穿通孔(211)的内侧壁上固定有导向套(212)，横向导向杆(23)插套在导向套(212)中。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆横向抓取移动机构，其特征在于：所述真空抓取手(20)包括左连接块(201)和右抓取块(202)，左连接块(201)通过螺栓固定连接在下连接板(19)的底面上，右抓取块(202)的左端上部和下部均成型有连接部(203)，左连接块(201)的右端夹持在两个连接部(203)之间并通过螺栓固定连接在两个连接部(203)上。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆横向抓取移动机构，其特征在于：所述右抓取块(202)的右端成型有两个弧形吸附块(204)，弧形吸附块(204)的底面通接有多个吸盘(205)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆横向抓取移动机构，其特征在于：所述横向通槽(141)的左右两端壁面上均固定有弹性块(1)，弹性块(1)对着底部移动块(151)的侧壁。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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