[发明专利]芯片整配系统及芯片整配方法在审
| 申请号: | 202010848710.5 | 申请日: | 2020-08-21 |
| 公开(公告)号: | CN114078720A | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
| 发明(设计)人: | 颜伍宏;黄议贤;林畯棠;陈淑华;张守骐 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 系统 配方 | ||
1.一种芯片整配系统,其特征在于,包括:
第一作动装置,其用于位移第一晶圆所定义出的多个不同等级的第一电子元件;
第二作动装置,其用于位移第二晶圆所定义出的多个不同等级的第二电子元件;以及
运算模块,其通讯连接该第一作动装置与第二作动装置,以将该第一电子元件与第二电子元件进行等级配对而产生目标资讯,从而使该第一作动装置与第二作动装置依据该目标资讯将至少一该第一电子元件与至少一该第二电子元件整合于一处。
2.如权利要求1所述的芯片整配系统,其特征在于,该多个第一电子元件至少分类成三种等级。
3.如权利要求1所述的芯片整配系统,其特征在于,该多个第二电子元件至少分类成三种等级。
4.如权利要求1所述的芯片整配系统,其特征在于,该运算模块将最高等级的第一电子元件与最高等级的第二电子元件匹配于同一处。
5.如权利要求4所述的芯片整配系统,其特征在于,该运算模块将该匹配的状况的数量最大化。
6.如权利要求1所述的芯片整配系统,其特征在于,该第一作动装置传递第一状态资讯至该运算模块,且该第二作动装置传递第二状态资讯至该运算模块,使该运算模块依该第一状态资讯与该第二状态资讯进行等级配对而产生该目标资讯,其中,该第一状态资讯为该多个第一电子元件配合其等级的资讯,且该第二状态资讯为该多个第二电子元件配合其等级的资讯。
7.一种芯片整配方法,其特征在于,包括:
分别于第一晶圆及第二晶圆中定义出不同等级的多个第一电子元件与多个第二电子元件;
将该多个第一电子元件与该多个第二电子元件进行等级配对,以产生目标资讯;以及
将至少一该第一电子元件与至少一该第二电子元件依据该目标资讯整合于同一处。
8.如权利要求7所述的芯片整配方法,其特征在于,该多个第一电子元件至少分类成三种等级。
9.如权利要求7所述的芯片整配方法,其特征在于,该多个第二电子元件至少分类成三种等级。
10.如权利要求7所述的芯片整配方法,其特征在于,最高等级的第一电子元件与最高等级的第二电子元件匹配于同一处。
11.如权利要求10所述的芯片整配方法,其特征在于,该匹配的状况的数量为要求最大化。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





