[发明专利]一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法

摘要

本发明公开一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法，包括以下步骤：步骤1、启动配方服务器；步骤2、配方服务器建立配方索引表；步骤3、配方编辑界面首先从本地创建配方并上传至配方服务器；步骤4、配方服务器接收设备读取配方列表的指令；步骤5、配方界面程序指定配方的类型、设备编号和配方文件存储路径；步骤6、配方界面程序从配方服务器下载配方文件到本地；步骤7、生产线设备在加工配方前，将所需加工的配方文件从配方服务器下载到本地。本发明使用户无需修改代码就可实现对不同类型配方的管理，对配方适用的设备和配方存储路径进行指定，并且能够保证各设备每次加工的配方都是最新的配方文件，通用性强、便于管理、实时性强。

主权项

一种面向集成电路生产线的多设备配方管理方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1、启动配方服务器；配方服务器自动创建配方文件夹目录结构；步骤2、配方服务器建立配方索引表，供设备进行快速查询；步骤3、配方编辑界面首先从本地创建配方并上传至配方服务器，服务器在接收配方文件的同时，在配方索引表中添加新的配方数据；步骤4、配方服务器在接到设备读取配方列表的指令时，会判根据设备编号返回设备所需要的配方列表；步骤5、配方界面程序在新建配方时，需要指定配方的类型、适用设备编号和配方文件存储路径；步骤6、配方界面程序从配方服务器下载配方文件到本对其进行编辑，最后将修改后的配方文件上传到配方服务器；步骤7、生产线设备在加工配方之前，将想所需加工的配方文件从配方服务器下载到本地。