[发明专利]显示面板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010423139.2 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN111627961A 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 卢马才;刘念 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L21/77;B81B7/02
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 刁文魁
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括:

基板;

多个显示元件,设置于所述基板上,且相邻所述显示元件之间的区域形成有振动开口;

底部电极,位于所述基板与所述振动开口之间;

顶部电极,位于所述振动开口上方,其中,在所述底部电极与所述顶部电极的共同作用下,所述振动开口中的空气发生振动以进行发声。

2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括封装层,所述封装层覆盖多个所述显示元件与所述顶部电极,且所述振动开口与所述封装层围成封闭的振动腔。

3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括发光层,所述发光层设置于所述显示元件与所述封装层之间;

其中,所述发光层包括多个有机发光器件,所述有机发光器件设置于所述显示元件上。

4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述顶部电极与所述底部电极的材料包括铝钼合金、铜钼合金以及铟锡氧化物的一种或多种组合。

5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,多个所述显示元件包括层叠设置层间介质层与钝化层,以及镶嵌于所述层间介质层中的薄膜晶体管,相邻所述薄膜晶体管之间的钝化层上形成有所述振动开口。

6.根据权利要求5所述的显示面板,其特征在于,所述振动开口的深度与所述钝化层的厚度相同。

7.一种显示面板的制备方法,其特征在于,所述方法包括:

提供基板;

在所述基板上形成多个显示元件、以及多个底部电极,所述底部电极设置于相邻所述显示元件之间的区域;

在相邻所述显示元件之间的区域依次形成牺牲层和电极材料层,并对所述电极材料层进行图案化,形成顶部电极;

对形成有所述电极材料层的所述显示面板进行刻蚀,以剥离所述牺牲层对应的所述显示元件的区域,形成振动开口。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,多个所述显示元件包括层叠设置层间介质层与钝化层,以及镶嵌于所述层间介质层中的薄膜晶体管,所述在所述基板上形成多个显示元件、以及多个底部电极,具体包括:

在所述基板上形成多个薄膜晶体管的栅极,并在每个所述栅极的一侧形成对应的所述底部电极,所述栅极与所述底部电极同层设置;

在形成有所述底部电极和所述栅极的显示面板上形成层间介质层;

在所述层间介质层上形成钝化层,以形成多个所述显示元件。

9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述在相邻所述显示元件之间的区域依次形成牺牲层和电极材料层,并对所述电极材料层进行图案化,形成顶部电极,具体包括:

在相邻所述显示元件之间的区域形成牺牲层;

在所述牺牲层上形成电极材料层;

在所述电极材料层上形成光刻胶,所述光刻胶呈图案化;

对形成有光刻胶的电极材料层进行光刻,以剥离所述光刻胶对应的电极材料层,形成顶部电极。

10.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,在形成振动开口之后,还包括:

在形成有所述振动开口的显示面板上形成发光层,所述发光层包括多个有机发光器件,所述有机发光器件设置于所述显示元件上;

在形成有所述发光层的显示面板上蒸镀薄膜封装层。

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