[发明专利]一种显示基板及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 202010344100.1 | 申请日: | 2020-04-27 |
公开(公告)号: | CN111509014B | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 王玲;林奕呈;闫光 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L27/144;H01L21/82 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 王云红;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 及其 制备 方法 显示装置 | ||
本申请公开了一种显示基板及其制备方法、显示装置。显示基板包括:基底;感测晶体管,设置在所述所基底的一侧;第一平坦层,设置在所述感测晶体管和所述第二金属层背离所述基底的一侧,所述第一平坦层在所述基底上的正投影包含所述感测晶体管;钝化保护层,设置在所述第一平坦层背离所述基底的一侧,所述第一平坦层在所述基底上的正投影位于所述钝化保护层在所述基底上的正投影范围内;PIN型光电二极管,设置在所述钝化保护层背离所述基底的一侧。该显示基板,钝化保护层可以作为牺牲层,保护第一平坦层在形成PIN的干刻过程中不被刻蚀,避免对PIN侧壁的污染,提升了PIN的性能,保证了较低的暗电流,提高了光学补偿效果。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种显示基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
有机发光二极管(英文:Organic Light Emitting Diode,简称OLED)显示基板以其低能耗、生产成本低、自发光、宽视角及响应速度快等优点,被广泛应用在手机、平板电脑、数码相机等显示领域。
OLED显示基板包括阵列分布的多个子像素,每个子像素包括耦接的子像素驱动电路和发光元件。工作时,子像素驱动电路为对应的发光元件提供驱动电流,以驱动发光元件发出对应颜色的光。由于OLED显示基板在使用过程中,发光元件的发光亮度会变化,为了改善发光元件发光亮度变化对显示效果的不利影响,一般会在子像素中设置对发光元件发出的光的亮度进行检测的发光检测器件,该发光检测器件主要包括感测薄膜晶体管和PIN型光电二极管,在利用发光检测器件对发光元件发出的光的强度进行检测时,PIN型光电二极管接收发光元件发出的光,并将接收的光转换为电信号,以实现通过转换后的电信号对发光元件发光进行补偿。
经发明人研究发现,OLED显示基板中,PIN型光电二极管的暗电流较高,影响了PIN型光电二极管的性能,降低了光学补偿效果。
发明内容
本申请实施例的目的是,提供一种显示基板及其制备方法、显示装置,以提高PIN型光电二极管的性能。
为了解决上述技术问题,本公开提供了一种显示基板,包括多个显示单元,所述显示单元包括多个子像素,所述显示单元内设置有发光检测区域,所述显示基板包括:
基底;
感测晶体管,设置在所述所基底的一侧,位于所述发光检测区域;
第二金属层,设置在所述基底朝向所述感测晶体管的一侧,所述第二金属层包括彼此间隔的感测扫描线和第二电源线,所述感测扫描线和第二电源线在所述发光检测区域均沿第一方向延伸,所述感测晶体管的感测栅电极与所述感测扫描线电连接;
第一平坦层,设置在所述感测晶体管和所述第二金属层背离所述基底的一侧,所述第一平坦层位于所述发光检测区域,所述第一平坦层在所述基底上的正投影包含所述感测晶体管;
钝化保护层,设置在所述第一平坦层背离所述基底的一侧,所述第一平坦层在所述基底上的正投影位于所述钝化保护层在所述基底上的正投影范围内;
PIN型光电二极管,设置在所述钝化保护层背离所述基底的一侧。
在一些可能的实现方式中,所述钝化保护层在垂直于所述基底方向的厚度为800埃至1200埃。
在一些可能的实现方式中,所述PIN型光电二极管包括沿远离所述钝化保护层的方向依次层叠设置的第一电极、PIN结和第二电极,所述第一电极在所述基底上的正投影位于所述第一平坦层在所述基底上的正投影范围内。
在一些可能的实现方式中,所述第一电极在所述基底上的正投影边界与所述第一平坦层在所述基底上的正投影边界之间的距离为d1,2μm≤d1≤4μm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的