[发明专利]一种LED显示装置及巨量转移方法在审

专利信息
申请号: 202010271742.3 申请日: 2020-04-07
公开(公告)号: CN113497016A 公开(公告)日: 2021-10-12
发明(设计)人: 张朋月;徐瑞林;黄嘉桦 申请(专利权)人: 重庆康佳光电技术研究院有限公司
主分类号: H01L25/16 分类号: H01L25/16;H01L21/677;H01L33/00;H01L21/78
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 402760 重庆市璧*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 一种 led 显示装置 巨量 转移 方法
【权利要求书】:

1.一种LED显示装置,其特征在于,包括一显示背板,所述显示背板上阵列划分为多个像素区域;

每个像素区域,包括,第一LED芯片、第二LED芯片及第三LED芯片,以及设置在所述显示背板上的第一凸台和第二凸台;

所述第一LED芯片设置于所述第一凸台上,

所述第二LED芯片设置于所述第二凸台上,

所述第三LED芯片设置于所述像素区域内的显示背板上,

所述第一凸台的高度H11大于所述第二凸台的高度H22。

2.如权利要求1所述的LED显示装置,其特征在于,所述第二LED芯片及所述第三LED芯片的高度分别为h2、h3,

所述第一凸台的高度H11、所述第二凸台的高度H22,满足以下条件:

H22≥h3、H11≥h2+h3。

3.一种巨量转移方法,其特征在于,包括步骤:

S10提供一第一生长基板,所述第一生长基板上有多个第一LED芯片,所述第一LED芯片的电极背离所述第一生长基板;

S11提供一第一临时基板,所述第一临时基板上设置有胶合剂,将所述第一LED芯片的电极粘附于所述第一临时基板的第一胶合剂层上,剥离所述第一生长基板;

S12在设置有所述第一LED芯片的所述第一临时基板上涂覆感光树脂,形成第一感光树脂层,所述第一感光树脂层的厚度H1大于所述第一LED芯片的高度为h1,即,H1h1;

S13在所述感光树脂层上覆盖一第二临时基板,所述第二临时基板采用透光材料制成;

提供一图形化掩膜,遮挡射向不需要转移的所述第一LED芯片的光线,曝光待转移的第一LED芯片对应的部分所述第一感光树脂层,使其固化,通过显影液移除未曝光的所述第一感光树脂层,剩下的所述感光树脂层作为第一转移头;

S14用激光剥离的方式选择性地将待转移的第一LED芯片从所述胶合剂层剥离,使所述第一LED芯片通过所述第一转移头粘附于所述第二临时基板上;

S15移动所述第二临时基板,将所述第二临时基板上的LED芯片转移至显示背板,通过剥离液溶解所述转移头,使LED芯片与所述第二临时基板分离,完成所述LED芯片的转移。

4.如权利要求3所述的巨量转移方法,其特征在于,所述方法还包括:

提供一第二生长基板,所述第二生长基板上有多个第二LED芯片,所述第二LED芯片的电极背离所述第二生长基板;

提供一第三临时基板,所述第三临时基板上设置有胶合剂,将所述第二LED芯片的电极粘附于所述第三临时基板的第二胶合剂层上,剥离所述第二生长基板;

在设置有所述第二LED芯片的所述第三临时基板上涂覆感光树脂,形成第二感光树脂层,所述第二感光树脂层的厚度H2大于所述第二LED芯片的高度为h2,即,H2h2,若所述第二LED芯片的高度h2与所述第一LED芯片的高度h1不相等,则预设覆盖所述第二LED芯片的第二感光树脂层的高度为H2,满足以下条件:H2-h2>|h2-h1|;

在所述第二感光树脂层上覆盖一第四临时基板,所述第四临时基板采用透光材料制成;

提供一图形化掩膜,遮挡射向不需要转移的所述第二LED芯片的光线,曝光待转移的第二LED芯片对应的部分所述第二感光树脂层,使其固化,通过显影液移除未曝光的所述第二感光树脂层,剩下的所述第二感光树脂层作为第二转移头;

用激光剥离的方式选择性地将待转移的第二LED芯片从所述胶合剂层剥离,使所述第二LED芯片通过所述第二转移头粘附于所述第四临时基板上;

移动所述第四临时基板,将所述第四临时基板上的LED芯片转移至显示背板,通过剥离液溶解所述第二转移头,使LED芯片与所述第四临时基板分离,完成所述第二LED芯片的转移。

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