[发明专利]一种LED显示装置及巨量转移方法在审
| 申请号: | 202010271742.3 | 申请日: | 2020-04-07 |
| 公开(公告)号: | CN113497016A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
| 发明(设计)人: | 张朋月;徐瑞林;黄嘉桦 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L21/677;H01L33/00;H01L21/78 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 熊永强 |
| 地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 led 显示装置 巨量 转移 方法 | ||
1.一种LED显示装置,其特征在于,包括一显示背板,所述显示背板上阵列划分为多个像素区域;
每个像素区域,包括,第一LED芯片、第二LED芯片及第三LED芯片,以及设置在所述显示背板上的第一凸台和第二凸台;
所述第一LED芯片设置于所述第一凸台上,
所述第二LED芯片设置于所述第二凸台上,
所述第三LED芯片设置于所述像素区域内的显示背板上,
所述第一凸台的高度H11大于所述第二凸台的高度H22。
2.如权利要求1所述的LED显示装置,其特征在于,所述第二LED芯片及所述第三LED芯片的高度分别为h2、h3,
所述第一凸台的高度H11、所述第二凸台的高度H22,满足以下条件:
H22≥h3、H11≥h2+h3。
3.一种巨量转移方法,其特征在于,包括步骤:
S10提供一第一生长基板,所述第一生长基板上有多个第一LED芯片,所述第一LED芯片的电极背离所述第一生长基板;
S11提供一第一临时基板,所述第一临时基板上设置有胶合剂,将所述第一LED芯片的电极粘附于所述第一临时基板的第一胶合剂层上,剥离所述第一生长基板;
S12在设置有所述第一LED芯片的所述第一临时基板上涂覆感光树脂,形成第一感光树脂层,所述第一感光树脂层的厚度H1大于所述第一LED芯片的高度为h1,即,H1h1;
S13在所述感光树脂层上覆盖一第二临时基板,所述第二临时基板采用透光材料制成;
提供一图形化掩膜,遮挡射向不需要转移的所述第一LED芯片的光线,曝光待转移的第一LED芯片对应的部分所述第一感光树脂层,使其固化,通过显影液移除未曝光的所述第一感光树脂层,剩下的所述感光树脂层作为第一转移头;
S14用激光剥离的方式选择性地将待转移的第一LED芯片从所述胶合剂层剥离,使所述第一LED芯片通过所述第一转移头粘附于所述第二临时基板上;
S15移动所述第二临时基板,将所述第二临时基板上的LED芯片转移至显示背板,通过剥离液溶解所述转移头,使LED芯片与所述第二临时基板分离,完成所述LED芯片的转移。
4.如权利要求3所述的巨量转移方法,其特征在于,所述方法还包括:
提供一第二生长基板,所述第二生长基板上有多个第二LED芯片,所述第二LED芯片的电极背离所述第二生长基板;
提供一第三临时基板,所述第三临时基板上设置有胶合剂,将所述第二LED芯片的电极粘附于所述第三临时基板的第二胶合剂层上,剥离所述第二生长基板;
在设置有所述第二LED芯片的所述第三临时基板上涂覆感光树脂,形成第二感光树脂层,所述第二感光树脂层的厚度H2大于所述第二LED芯片的高度为h2,即,H2h2,若所述第二LED芯片的高度h2与所述第一LED芯片的高度h1不相等,则预设覆盖所述第二LED芯片的第二感光树脂层的高度为H2,满足以下条件:H2-h2>|h2-h1|;
在所述第二感光树脂层上覆盖一第四临时基板,所述第四临时基板采用透光材料制成;
提供一图形化掩膜,遮挡射向不需要转移的所述第二LED芯片的光线,曝光待转移的第二LED芯片对应的部分所述第二感光树脂层,使其固化,通过显影液移除未曝光的所述第二感光树脂层,剩下的所述第二感光树脂层作为第二转移头;
用激光剥离的方式选择性地将待转移的第二LED芯片从所述胶合剂层剥离,使所述第二LED芯片通过所述第二转移头粘附于所述第四临时基板上;
移动所述第四临时基板,将所述第四临时基板上的LED芯片转移至显示背板,通过剥离液溶解所述第二转移头,使LED芯片与所述第四临时基板分离,完成所述第二LED芯片的转移。
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