[发明专利]图像传感器封装件及其制造方法在审
申请号: | 202010150316.4 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN112701130A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 吴昇财;林育民;罗元听;林昂樱;倪梓瑄;陈昭蓉;黄馨仪 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L23/31;H01L21/56;H01L23/488;H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图像传感器 封装 及其 制造 方法 | ||
1.一种图像传感器封装件,其特征在于,包括:
重配置线路结构;
图像传感器芯片,配置于所述重配置线路结构上且具有传感面,其中所述传感面上配置有传感区以及第一导电柱,所述第一导电柱配置在所述传感区旁的周围区域;
盖体,覆盖所述传感区;
包封体,配置于所述重配置线路结构上且包封所述图像传感器芯片与所述盖体的至少部分;及
上部半导体芯片,配置于所述图像传感器芯片上方且所述上部半导体芯片的主动面上配置有第一导体,
其中所述第一导体在与所述传感面垂直的方向上与所述图像传感器芯片交叠,且
所述第一导电柱与所述第一导体彼此对准并接合以电连接所述图像传感器芯片与所述上部半导体芯片。
2.根据权利要求1所述的图像传感器封装件,其中所述上部半导体芯片包括多个上部半导体芯片,所述多个上部半导体芯片彼此并排地配置在所述包封体上。
3.根据权利要求1所述的图像传感器封装件,还包括第二导电柱,贯穿所述包封体,且
其中所述上部半导体芯片的主动面上还配置有第二导体,所述第二导体在与所述传感面垂直的方向上不与所述图像传感器芯片交叠,且
所述第二导电柱与所述第二导体接合以电连接所述上部半导体芯片与所述重配置线路结构。
4.根据权利要求3所述的图像传感器封装件,其中所述第二导电柱的高度大于所述第一导电柱的高度。
5.根据权利要求3所述的图像传感器封装件,其中所述第一导电柱与所述第一导体之间的接合面为无焊料接合面,且所述第二导电柱与所述第二导体之间的接合面为无焊料接合面。
6.根据权利要求1所述的图像传感器封装件,其中所述第一导电柱与所述第一导体通过熔点低于200℃的接合金属接合。
7.根据权利要求1所述的图像传感器封装件,其中所述上部半导体芯片包括逻辑芯片、存储器芯片及人工智能芯片中的至少一者。
8.根据权利要求1所述的图像传感器封装件,其中所述包封体的侧壁与所述重配置线路结构的侧壁对准。
9.一种图像传感器封装件,包括:
重配置线路结构;
半导体元件,配置于所述重配置线路结构上,所述半导体元件包括图像传感器芯片,所述图像传感器芯片具有传感面,所述传感面上配置有传感区与第一导电柱,所述第一导电柱配置在所述传感区旁的周围区域;
盖体,覆盖所述传感区;
包封体,配置于所述重配置线路结构上且包封所述半导体元件与所述盖体的至少部分;及
上部半导体芯片,配置于所述半导体元件上方且所述上部半导体芯片的主动面上配置有第一导体,
其中所述第一导体在与所述传感面垂直的方向上与所述半导体元件交叠,且
所述第一导电柱与所述第一导体彼此对准并接合以电连接所述半导体元件与所述上部半导体芯片。
10.根据权利要求9所述的图像传感器封装件,其中所述上部半导体芯片包括多个上部半导体芯片,所述多个上部半导体芯片并排地配置在所述半导体元件上方。
11.根据权利要求9所述的图像传感器封装件,还包括第二导电柱,贯穿所述包封体,且
其中所述上部半导体芯片的主动面上还配置有第二导体,所述第二导体在与所述传感面垂直的方向上不与所述半导体元件交叠,且
所述第二导电柱与所述第二导体接合以电连接所述上部半导体芯片与所述重配置线路结构。
12.根据权利要求11所述的图像传感器封装件,其中所述第二导电柱的高度大于所述第一导电柱的高度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的