[发明专利]搬运机器人

说明书

本发明提供搬运机器人，能防止机器人与周围的干涉。搬运机器人(10)具备：分别与旋转轴能旋转地连结的第1臂(16)、第2臂(14)以及用于搬运基板的手(11、12)，在搬运机器人(10)中，具备存储部，其存储：对应于手(11、12)的动作范围设定的第1区域(R1)以及第2区域(R2)、用户以手动操作来操作搬运机器人(10)时的操作模式是各轴旋转手动操作的情况下选择的第1条件、和在用户以手动操作来操作搬运机器人(10)时的操作模式是直线手动操作的情况下选择的第2条件，在用户进行手动操作时，对应于所述操作模式读出所述第1条件或所述第2条件，监视手(11、12)的特定点的位置是否适合读出的条件。

技术领域

本发明涉及搬运基板的搬运机器人。

背景技术

过去以来，在对半导体晶片、玻璃基板等基板进行处理的基板处理装置中，设有用于将基板搬运到对这些基板进行处理的腔体的搬运机器人。

例如在专利文献1中公开了如下那样的搬运机器人：在搬运机器人的动作范围预先设定干涉区域，存储向示教位置的动作的开始位置、目的位置与干涉区域的组合的型式，判定从开始位置到目的位置的动作符合哪个型式，对应于判定的型式来决定从开始位置到目的位置的动作轨迹，使得避开干涉区域。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2010-162682号公报

但在手动操作搬运机器人的情况下，即，在未预先设定目的位置、由用户直接进行操作的情况下，不能运用专利文献1所涉及的搬运机器人。

另外，具有多个旋转轴的SCARA(选择顺应性装配机器手臂(SelectivelyCompliance Articulated Robot Arm))型的搬运机器人，因自由度高而难以手动进行操作，因此在手动进行操作的情况下，需要在防止用户的操作失误引起的与周边装置的干涉上下工夫。

发明内容

本发明鉴于相关的情况而提出，其目的在于，提供在基板搬运时能防止搬运机器人的手与周围的干涉的搬运机器人。

本发明所涉及的搬运机器人具有：一端部与第1旋转轴能旋转地连结的第1臂；一端部与设于所述第1臂的另一端部的第2旋转轴能旋转地连结的第2臂；和一端部与设于所述第2臂的另一端部的第3旋转轴能旋转地连结的用于搬运基板的手，所述搬运机器人的特征在于，所述搬运机器人构成为能让用户选择：通过以手动操作使所述第1旋转轴、所述第2旋转轴或所述第3旋转轴的任一者旋转来使所述手的位置变化的各轴手动操作；和使所述手直线地动作的直线手动操作，所述搬运机器人具备存储部，其存储：对应于所述手的动作范围而设定的第1区域以及第2区域；用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是各轴旋转手动操作的情况下选择的第1条件；和用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是直线手动操作的情况下选择的第2条件，在用户进行手动操作时，对应于所述操作模式来读出所述第1条件或所述第2条件，监视所述手的特定点的位置是否适合读出的条件。

在本发明所涉及的搬运机器人中，特征在于，所述第1条件是所述手的特定点存在于所述第1区域内。

在本发明所涉及的搬运机器人中，特征在于，所述第2条件满足下述(1)～(3)的条件的全部。

(1)不进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第1区域。

(2)进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第1区域内或所述第2区域内。

(3)在进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第2区域内的情况下，角度A的相对于合适值的误差是容许误差内。

发明的效果