[发明专利]固体摄像元件在审
申请号: | 201980061137.9 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN112753103A | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 成子朗人;工藤和生 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G02B1/111;G02B3/00;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/20 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本东京港*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固体 摄像 元件 | ||
一种固体摄像元件,其具有:光电转换部,根据入射光进行光电转换;微透镜,将所述入射光聚集到所述光电转换部;以及所述微透镜上的硬化膜,由感放射线性组合物所形成,所述感放射线性组合物含有包含硅原子及芳香环的树脂(A)以及感放射线性化合物(B)。
技术领域
本发明涉及一种固体摄像元件。
背景技术
在数字相机等摄像装置中搭载有电荷耦合器件(Charge Coupled Device,CCD)图像传感器及互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)图像传感器等固体摄像元件。固体摄像元件从人眼可识别的可见光到波长比其长的红外光区域,具有非常宽的波长灵敏度。
固体摄像元件具有微透镜。随着固体摄像元件的高分辨率化,存在光电转换部中的光接收量降低的问题。其原因在于,入射光被反射到聚集入射光的微透镜表面,减少了光电转换部中的光接收量。针对这一问题,例如专利文献1中记载了在微透镜的表面设置包含丙烯酸树脂或氟系丙烯酸树脂的层。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开2007-053153号公报
发明内容
发明所要解决的问题
专利文献1中记载的构成中,包含丙烯酸树脂或氟系丙烯酸树脂的层的耐热性低,因此存在有在高温环境下所述层的透明性降低的倾向。
本发明的课题在于提供一种在微透镜上具有耐热透明性优异的层的固体摄像元件。
解决问题的技术手段
本发明人等人为了解决所述课题而进行积极研究。其结果,发现可通过具有以下的构成的固体摄像元件来解决所述课题,从而完成了本发明。
本发明涉及例如以下的[1]~[9]。
[1]一种固体摄像元件,其具有:光电转换部,根据入射光进行光电转换;微透镜,将所述入射光聚集到所述光电转换部;以及所述微透镜上的硬化膜,由感放射线性组合物所形成,所述感放射线性组合物含有:包含硅原子及芳香环的树脂(A);以及感放射线性化合物(B)。
[2]根据所述[1]所述的固体摄像元件,其中包含硅原子及芳香环的树脂(A)是在同一或不同的聚合物中具有结构单元(I)及结构单元(II)的聚合物成分(a),所述结构单元(I)含有芳香环以及与所述芳香环直接键结的烷氧基硅烷基,所述结构单元(II)含有酸性基。
[3]根据所述[2]所述的固体摄像元件,其中所述聚合物成分(a)在与具有选自所述结构单元(I)及所述结构单元(II)中的至少一种结构单元的聚合物相同或不同的聚合物中,还具有含有交联性基的结构单元(III)。
[4]根据所述[2]或[3]所述的固体摄像元件,其中所述结构单元(I)是包含经取代或未经取代的苯环、萘环或蒽环;以及与所述环直接键结的-SiR3所表示的基(所述R分别独立地为氢原子、卤素原子、羟基、烷基、芳基或烷氧基;其中,所述R中的至少一个为烷氧基)的结构单元。
[5]根据所述[1]~[4]中任一项所述的固体摄像元件,其中所述感放射线性化合物(B)含有选自感放射线性酸产生剂及感放射线性碱产生剂中的至少一种化合物。
[6]一种电子机器,其具有根据所述[1]~[5]中任一项所述的固体摄像元件。
[7]根据[6]所述的电子机器,其为医疗用或保健用相机。
[8]一种感放射线性组合物,其用于形成被覆固体摄像元件中所包含的微透镜的硬化膜,且含有:包含硅原子及芳香环的树脂(A);以及感放射线性化合物(B)。
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