[发明专利]固体摄像元件在审
申请号: | 201980061137.9 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN112753103A | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 成子朗人;工藤和生 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G02B1/111;G02B3/00;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/20 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本东京港*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固体 摄像 元件 | ||
1.一种固体摄像元件,其具有:
光电转换部,根据入射光进行光电转换;
微透镜,将所述入射光聚集到所述光电转换部;以及
所述微透镜上的硬化膜,由感放射线性组合物所形成,所述感放射线性组合物含有包含硅原子及芳香环的树脂(A)以及感放射线性化合物(B)。
2.根据权利要求1所述的固体摄像元件,其中包含硅原子及芳香环的树脂(A)是在同一或不同的聚合物中具有结构单元(I)及结构单元(II)的聚合物成分(a),所述结构单元(I)含有芳香环以及与所述芳香环直接键结的烷氧基硅烷基,所述结构单元(II)含有酸性基。
3.根据权利要求2所述的固体摄像元件,其中所述聚合物成分(a)在与具有选自所述结构单元(I)及所述结构单元(II)中的至少一种结构单元的聚合物相同或不同的聚合物中,还具有含有交联性基的结构单元(III)。
4.根据权利要求2或3所述的固体摄像元件,其中所述结构单元(I)是包含经取代或未经取代的苯环、萘环或蒽环;以及与所述环直接键结的-SiR3所表示的基(所述R分别独立地为氢原子、卤素原子、羟基、烷基、芳基或烷氧基;其中,所述R中的至少一个为烷氧基)的结构单元。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的固体摄像元件,其中所述感放射线性化合物(B)含有选自感放射线性酸产生剂及感放射线性碱产生剂中的至少一种化合物。
6.一种电子机器,其具有如权利要求1至5中任一项所述的固体摄像元件。
7.根据权利要求6所述的电子机器,其为医疗用或保健用相机。
8.一种感放射线性组合物,其用于形成被覆固体摄像元件中所包含的微透镜的硬化膜,且含有:
包含硅原子及芳香环的树脂(A);以及
感放射线性化合物(B)。
9.一种固体摄像元件的制造方法,其中固体摄像元件具有:光电转换部,根据入射光进行光电转换;微透镜,将所述入射光聚集到所述光电转换部;以及所述微透镜上的硬化膜,所述固体摄像元件的制造方法包括:
至少在所述微透镜上形成感放射线性组合物的涂膜的步骤,所述感放射线性组合物含有包含硅原子及芳香环的树脂(A)与感放射线性化合物(B);对所述涂膜的一部分照射放射线的步骤;将放射线照射后的所述涂膜显影,去除在所需的部位以外形成的所述涂膜的步骤;以及通过加热显影后的所述涂膜而在所述微透镜上形成所述硬化膜的步骤。
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