[发明专利]使用识别符将边缘环零件号映射至槽号

权利要求书

1.一种用于追踪边缘环的方法，其包含：

从与所述边缘环相关的源捕获边缘环识别符；

将所述边缘环插入至边缘环载具的槽中，所述边缘环被分配给所述边缘环载具；以及

针对进出所述边缘环载具以及进出处理站的传送，追踪所述边缘环识别符，

其中，对所述边缘环识别符的所述追踪建立元数据文件，所述元数据文件提供关于所述边缘环的寿命信息。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述源为所述边缘环的表面、或嵌入所述边缘环内的零件、或容纳所述边缘环的封装件的表面。

3.根据权利要求1所述的方法，其中将所述边缘环插入包含：将所述边缘环识别符与所述槽的槽识别符以及所述边缘环载具的载具识别符链接。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述捕获和插入操作在所述边缘环装载至所述边缘环载具的时间期间执行。

5.根据权利要求1所述的方法，其中追踪所述边缘环识别符包含：当所述边缘环移动进出所述边缘环载具的特定槽时，接收由所述边缘环载具的一或多个传感器所捕获的信息，从所述一或多个传感器所接收的所述信息用于更新在所述边缘环的所述元数据文件中的所述寿命信息。

6.根据权利要求5所述的方法，其中从所述边缘环载具的所述一或多个传感器所接收的所述信息用于更新针对所述边缘环载具所保存的内容表和状态表。

7.根据权利要求1所述的方法，其中追踪所述边缘环识别符包含：当所述边缘环在制造系统的所述处理站内移动时，接收由分布在所述处理站内的一或多个传感器所捕获的信息，从所述一或多个传感器所接收的所述信息用于更新在所述边缘环的所述元数据文件中的所述寿命信息。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述处理站包含以下一或多者：装载端口、大气压传送模块、装载锁定室、真空传送模块、其中使用所述边缘环的工艺模块、或在所述处理站内移动所述边缘环的一或多个机械手，并且

其中从所述一或多个传感器所接收的所述信息包含以下一或多者：所述边缘环的位置、所述边缘环导入所述位置的时间、所述边缘环从所述位置移除的时间、在移动至所述位置之前的所述边缘环的条件、在移出所述位置之后的所述边缘环的所述条件、针对所述边缘环预期使用的工具、针对所述边缘环预期使用的工艺模块、或者在所述工艺模块内所述边缘环的使用记录。

9.根据权利要求1所述的方法，其中追踪所述边缘环识别符还包含：询问在定位有所述处理站的制造系统中所保存的零件追踪数据库，以获得所述边缘环的目前位置；以及以所述目前位置更新所述元数据文件。

10.根据权利要求1所述的方法，其中追踪所述边缘环识别符还包含：

对选择所述边缘环以传送出所述边缘环载具进行检测；

询问在制造系统中所保存的零件追踪数据库，以确定容纳所述边缘环的所述边缘环载具在所述制造系统内的目前位置；

当所述边缘环载具的所述目前位置是在所述处理站的装载端口时，进行以下验证：与所述边缘环识别符相关联的所述边缘环是在所述处理站内的工艺模块中所使用的边缘环，所述验证用于使得所述边缘环能传送出所述边缘环载具。

11.根据权利要求10所述的方法，当所述验证确定所述边缘环不是使用在所述工艺模块中时，产生警报以指示被选择以传送出所述边缘环载具的所述边缘环的不匹配，并且防止所述边缘环传送出所述边缘环载具。