[发明专利]光器件以及光检测系统

说明书

光器件具备：第1基板，其具有沿着第1方向和与所述第1方向交叉的第2方向扩展的表面；第2基板，其与所述第1基板相对向；多个隔壁，其位于所述第1基板与所述第2基板之间，沿着所述第1方向延伸；一个以上的光波导，其位于所述第1基板与所述第2基板之间，具备位于所述多个隔壁之间并沿着所述第1方向延伸的一个以上的电介质部件；以及一个以上的间隔件，其由所述第1基板和所述第2基板直接或者间接地夹持，位于所述一个以上的光波导的周围。

技术领域

本公开涉及光器件以及光检测系统。

背景技术

以往，提出了能够用光对空间进行扫描(scan)的各种器件。

专利文献1公开了能够使用使反射镜进行旋转的驱动装置来进行基于光的扫描的结构。

专利文献2公开了具有呈二维排列的多个纳米光子天线元件的光学相控阵列(optical phased array)。各个天线元件光学耦合到可调光延迟线(即移相器(phaseshifter))。在该光学相控阵列中，相干光束通过波导被引导至各个天线元件，光束的相位通过移相器被移动。由此，能够使远场辐射图案(pattern)的振幅分布变化。

专利文献3公开了一种光偏转元件，其具备：波导，其具有供光在内部传播的光波导层以及形成于光波导层的上表面和下表面的第1分布布拉格反射镜；光入射口，其用于使光入射到波导内；以及光出射口，其形成于波导的表面，用于使从光入射口入射并在波导内传播的光出射。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:国际公开第2013/168266号

专利文献2:日本特表2016－508235号公报

专利文献3:日本特开2013－16591号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本公开的一个技术方案提供能够通过比较简单的结构实现基于光的扫描的新型的光器件。

用于解决问题的技术方案

本公开的一个技术方案涉及的光器件具备：第1基板，其具有沿着第1方向和与所述第1方向交叉的第2方向扩展的表面；第2基板，其与所述第1基板相对向；多个隔壁，其位于所述第1基板与所述第2基板之间，沿着所述第1方向延伸；一个以上的第1光波导，其位于所述第1基板与所述第2基板之间，具备位于所述多个隔壁之间并沿着所述第1方向延伸的一个以上的电介质部件；以及一个以上的间隔件，其直接或者间接地被所述第1基板和所述第2基板夹持，位于所述一个以上的第1光波导的周围。

本公开的概括性的或者具体的技术方案也可以通过设备、系统、方法或者这些的任意组合来实现。

发明效果

根据本公开的一个技术方案，能够通过比较简单的结构实现基于光的一维扫描或者二维扫描。

附图说明

图1是示意性地表示本公开的例示的实施方式中的光扫描器件的结构的立体图。

图2是示意性地表示一个波导元件的截面的构造以及所传播的光的例子的图。

图3A是表示在与波导阵列的出射面垂直的方向上出射光的波导阵列的截面的图。

图3B是表示在与垂直于波导阵列的出射面的方向不同的方向上出射光的波导阵列的截面的图。

图4是示意性地表示三维空间中的波导阵列的立体图。

图5是从光出射面的法线方向(Z方向)观察波导阵列10A和移相器阵列80A而得到的示意图。